Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文:FeRAM向け (Al,Sc)N膜における強誘電特性の膜厚依存性評価 
英文: 
著者
和文: 道古宗俊, 松井尚子, 入澤寿和, 恒川孝二, Nana Sun, 中村美子, 岡本一輝, 舟窪浩.  
英文: Soshun Doko, 松井尚子, 入澤寿和, KOJI TSUNEKAWA, Nana SUN, 中村美子, Kazuki Okamoto, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2024年9月16日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第85回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:日本 
英文: 

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.