The ferroelectric and piezoelectric properties of (Hf1-xCex)O2 films on indium tin oxide/Pt/TiOx/SiO2/(100)Si substrates obtained using a no-heating radio-frequency magnetron sputtering deposition method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	The ferroelectric and piezoelectric properties of (Hf1-xCex)O2 films on indium tin oxide/Pt/TiOx/SiO2/(100)Si substrates obtained using a no-heating radio-frequency magnetron sputtering deposition method

著者

和文:	茶谷那知, 岡本一輝, 平井浩司, 安岡慎之介, Yukari Inoue, Wakiko Yamaoka, 舟窪浩.
英文:	Nachi Chaya, Kazuki Okamoto, Koji Hirai, Shinnosuke Yasuoka, Yukari Inoue, Wakiko Yamaoka, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 63 No. 04SP83 p. 1-7

出版年月

2024年4月30日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI