Strain Control of (001)-Polar-Axis-Oriented Epitaxial Y‑Doped HfO2 Thin Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Strain Control of (001)-Polar-Axis-Oriented Epitaxial Y‑Doped HfO2 Thin Films

著者

和文:	前川芳輝, 平井浩司, 岡本一輝, 清水荘雄, 舟窪浩.
英文:	Yoshiki Maekawa, Koji Hirai, Kazuki Okamoto, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ACS Appl. Electron. Mater.

巻, 号, ページ

Vol. 2024 No. 6 p. 5525-5535

出版年月

2024年7月14日

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI