"堀 智貴,桃園 聡,平田 敦,青野祐子","大電力パルススパッタリング法を用いたナノ粒子合成の基礎検討","2022年度精密工学会春季大会学術講演会","2022年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集",,,,"pp. 82-83",2022,Mar.