"宮辺祐太郎,高橋篤司,松井知己,小平行秀,横山陽子","ダブルパターニングにおけるリソグラフィECOのためのパターン局所修正法","VLSI設計技術研究会","電子情報通信学会技術研究報告 (VLD2013-149)",,"Vol. 113","No. 454","pp. 87-92",2014,Mar.