"酒井一憲,中川恭成,横田知之,金成国,岡下勝己,佐々木雄一朗,パールハットアヘメト,角嶋邦之,水野文二,服部健雄,筒井一生,岩井洋","3次元Fin構造中不純物プロファイリングのための反復犠牲酸化エッチング","秋季第69回応用物理学会学術講演会","秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集","応用物理学会",,"No. 2","pp. 749",2008,Sept.
"酒井一憲,渡邉将光,中川恭成,金 成国,岡下 勝己,佐々木雄一朗,パールハットアヘメト,角嶋邦之,水野 文二,服部健雄,筒井一生,岩井洋","極浅接合プロファイリングのための反復犠牲酸化エッチング技術","春季第55回応用物理学会学術講演会","春季第55回応用物理学会学術講演会予稿集","応用物理学会",,"No. 2","pp. 900",2008,Mar.