"山下雄也,清水大雅,鮫島俊之","電子ビーム蒸着と高圧水蒸気熱処理によるアモルファスシリコン薄膜の消光係数の低減","第3回集積光デバイスと応用技術研究会",,,,,"pp. 27-28",2016,Mar.