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"野武幸輝,金本啓,加藤樹理,大見俊一郎","SBSIプロセスによる極薄SOI/BOX層の均一形成に関する検討","第68回応用物理学会学術講演会","第68回応用物理学会学術講演会 講演予稿集","応用物理学会",,"No. 2","p. 859",2007,Sept.