"草深 一樹,Sunglin Tsai,星井 拓也,若林 整,筒井 一生,角嶋 邦之","スパッタリングによって形成したAlScN膜のリーク電流の評価","第80回応用物理学会秋季学術講演会",,,,,,2019,Sept.
"蔡 松霖,草深 一樹,星井 拓也,若林 整,筒井 一生,角嶋 邦之","スパッタリングを用いたAlScN膜の形成","第80回応用物理学会秋季学術講演会",,,,,,2019,Sept.