@inproceedings{CTT100821199,
  author = {佐藤 大知 and 横山 竜 and 相馬 拓人 and 大友 明},
  title = {パルスレーザ堆積法による ScN 薄膜のエピタキシャル成長},
  booktitle = {},
  year = 2020,
}