@article{CTT100592388, author = {進士忠彦 and 松本淳 and 佐藤海二 and 下河邉明}, title = {永久磁石反発型直動案内 -テーブルの静剛性と2自由度の制御による浮上安定化―}, journal = {日本機械学会論文集C編}, year = 2001, }