@inproceedings{CTT100925568, author = {山下 雄也 and 土居 謙太 and 清田哲司 and 叶宇晨 and 島谷和希 and 何文涛 and 羽生陽向 and 菊地航行 and 櫻井彩貴 and 根津篤 and 赤塚洋}, title = {トモグラフィック発光分光計測とアルゴン衝突輻射モデルにもとづくCF4/O2/Arプラズマの電子温度・電子密度・EEDFの位置分布診断}, booktitle = {第85回応用物理学会秋季学術講演会 講演要旨集}, year = 2024, }