@inproceedings{CTT100917902,
  author = {佐藤智輝 and 稲葉梨々花 and 徳永大二郎 and 青野祐子 and 平田 敦},
  title = {大電力パルスマグネトロンスパッタリングSiC薄膜のレーザ改質による潤滑性の向上},
  booktitle = {2024年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集},
  year = 2024,
}