@inproceedings{CTT100786979, author = {長谷川 馨 and 柴原 竜太朗 and 松浦 明 and 高澤 千明 and Fave Alain and Fourmond Erwann and 野田 優 and 伊原 学}, title = {ナノレベルで荒さ制御した下地への急速蒸着で作製したウェハー級の太陽電池用薄層Si}, booktitle = {}, year = 2019, } @inproceedings{CTT100760731, author = {柴原 竜太朗 and 松浦 明 and 高澤 千明 and 藤田 誠 and 長谷川 馨 and 野田 優 and 伊原 学}, title = {高速成膜法による単結晶薄膜Si太陽電池の作製とSi薄膜の電気特性評価}, booktitle = {}, year = 2018, } @inproceedings{CTT100760734, author = {松浦 明 and 柴原 竜太朗 and 藤田 誠 and 高澤 千明 and 長谷川 馨 and 野田 優 and 伊原 学}, title = {単結晶薄膜 Si 太陽電池作製に向けた2層多孔質Si基板のナノ表面制御と超高速成膜により得られたSi 薄膜特性の評価}, booktitle = {}, year = 2018, } @inproceedings{CTT100743225, author = {松浦 明 and 高澤 千明 and 藤田 誠 and 長谷川 馨 and 野田 優 and 伊原 学}, title = {単結晶薄膜 Si 太陽電池作製のための2層多孔質Si基板のナノ表面制御と超高速成膜の評価}, booktitle = {}, year = 2017, } @misc{CTT100844686, author = {伊原学 and 長谷川馨 and 高澤千明 and 松浦明}, title = {エピタキシャルシリコン薄膜の製造に用いられるシリコン基板及びその製造方法}, howpublished = {公開特許}, year = 2020, month = {}, note = {特願2019-540973(2018/09/05), 再表2019/049876(2020/11/12)} }