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石川純平 研究業績一覧 (9件)
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国内会議発表 (査読なし・不明)
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石川純平,
高峻,
大見俊一郎.
ウェットエッチングによるYb混晶化PtSiのパターニングに関する検討,
春季第57回応用物理学関係連合講演会,
春季第57回応用物理学関係連合講演会予稿集,
応用物理学会,
p. 13-177,
Mar. 2010.
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木村雄一郎,
高峻,
石川純平,
大見俊一郎.
RFマグネトロンスパッタ法によるPtSiゲート電極の形成,
春季第57回応用物理学関係連合講演会,
春季第57回応用物理学関係連合講演会予稿集,
応用物理学会,
p. 13-152,
Mar. 2010.
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高峻,
石川純平,
大見俊一郎.
2段階シリサイド化によるHf混晶化PtSiの極薄膜化にかんする検討,
春季第57回応用物理学関係連合講演会,
春季第57回応用物理学関係連合講演会予稿集,
応用物理学会,
p. 13-178,
Mar. 2010.
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Liao Min,
Young uk Song,
Jumpei Ishikawa,
Shun-ichiro Ohmi.
Dielectric layer dependence of electrical and physical properties of pentacene films,
春季第57回応用物理学関係連合講演会,
春季第57回応用物理学関係連合講演会予稿集,
応用物理学会,
p. 12-424,
Mar. 2010.
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石川純平,
高峻,
大見俊一郎.
ポストアニールによるYb混晶化PtSiの低抵抗率化に関する検討,
秋季第70回応用物理学会学術講演会,
秋季第70回応用物理学会学術講演会予稿集,
応用物理学会,
pp. 756,
Sept. 2009.
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高峻,
石川純平,
大見俊一郎.
Hf混晶化PtSiの耐熱性に関する検討,
春季第56回応用物理学関係連合講演会,
春季第56回応用物理学関係連合講演会予稿集,
応用物理学会,
pp. 867,
Mar. 2009.
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石川純平,
高峻,
大見俊一郎.
Yb混晶化PtSiの結晶性に関する検討,
春季第56回応用物理学関係連合講演会,
春季第56回応用物理学関係連合講演会予稿集,
応用物理学会,
pp. 866,
Mar. 2009.
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高峻,
石川純平,
大見俊一郎.
Hf結晶化PtSiの結晶性に関する検討,
秋季第69回応用物理学会学術講演会,
秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集,
応用物理学会,
pp. 750,
Sept. 2008.
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高峻,
石川純平,
大見俊一郎.
Hf結晶化PtSiの仕事関数変調機構の検討,
電子情報通信学会SDM研究会,
電子情報通信学会技術研究報告,
電子情報通信学会,
Vol. 108,
No. 162,
pp. 41-44,
2008.
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