@inproceedings{CTT100926011,
  author = {甲斐稜也 and 伊藤新 and 金子智 and 松田晃史},
  title = {エキシマレーザーアニールによる酸化鉄バッファー層上Ga2O3薄膜の急速固相エピタキシー},
  booktitle = {},
  year = 2024,
}