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林俊甫 研究業績一覧 (3件)
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国際会議発表 (査読なし・不明)
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Lin,
A. Tanaka,
N. Ishizaki,
A. Nishiyama,
N. Wakiya,
J. S. Cross,
T. Shiota,
O. Sakurai,
K. Shinozaki.
Optimization of Deposition Conditions of a-Al2O3 Thin Films by Low Pressure MOCVD Using Al(CH3)3,
The 8th International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC-8),
Abstract book of The 8th International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC-8),
26pKP27,
June 2014.
国内会議発表 (査読なし・不明)
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林 俊甫,
西山昭雄,
塩田忠,
安田公 一,
篠崎和夫.
Al(CH3)3とO2を用いたMOCVD 法によるAl2O3製膜に及ぼすH2添加の影響,
日本セラミックス協会2018年年会,
日本セラミックス協会2018年年会要旨集,
Mar. 2018.
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林俊甫,
田中 敦,
西山 昭雄,
塩田 忠,
櫻井修,
篠崎 和夫.
Fabrication of a-Al2O3 thin films at lower temperature by low pressure MOCVD,
第4回日本セラミックス協会関東支部若手研究発表交流会,
第4回日本セラミックス協会関東支部若手研究発表交流会講演要旨集,
43,
Oct. 2014.
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