@inproceedings{CTT100926012, author = {金子健太 and 喬宇馳 and 平野拓夢 and 金子智 and 松田晃史}, title = {機能性酸化物エピタキシャル薄膜の構造・物性に与える真空紫外光励起酸素種の効果}, booktitle = {}, year = 2024, }