@inproceedings{CTT100761273,
  author = {加藤広基 and 春本高志 and 史蹟 and 中村吉男},
  title = {スパッタリング法により作製したPt 膜中の混入ガス放出過程 高温その場XRD 観察},
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  year = 2018,
}