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足立学 研究業績一覧 (9件)
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国際会議発表 (査読有り)
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K. Kakushima,
K. Tachi,
M. Adachi,
K. Okamoto,
S. Sato,
J. Song,
T. Kawanago,
P. Ahmet,
K. Tsutsui,
N. Sugii,
T. Hattori,
H. Iwai.
Advantage of La2O3 Gate Dielectric Over HfO2 for Direct Contact and Mobility Improvment,
the 38th European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC2008),
Sept. 2008.
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K. Kakushima,
K. Okamoto,
M. Adachi,
K. Tachi,
S. Sato,
T. Kawanago,
J. Song,
P. Ahmet,
N. Sugii,
K. Tsutsui,
T. Hattori,
H. Iwai.
Impact of Thin La2O3 Insertion for HfO2 MOSFET,
213th ECS Meeting,
May 2008.
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Kuniyuki Kakushima,
Kouichi Okamoto,
Manabu Adachi,
Kiichi Tachi,
Jaeyeol Song,
Soushi Sato,
Takamasa Kawanago,
Parhat Ahmet,
Kazuo Tsutsui,
Nobuyuki Sugii,
Takeo Hattori,
Hiroshi Iwai.
Band Bending Measurement of HfO2/SiO2/Si Capacitor with ultra-thin La2O3 Insertion by XPS,
Fifth International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI2007),
Nov. 2007.
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M.Adachi,
K.Okamoto,
K.Kakushima,
P.Ahmet,
K.Tsutsui,
N.Sugii,
T.Hattori,
H.Iwai.
Control of Flat Band Voltage by Partial Incorporation of La2O3 or Sc2O3 into MfO2 in Metal/MfO2/SiO2/Si MOS Capacitors,
ECS Transactions:Physics and Technology of High-k Gate Dielectrics 5,
The Electrochemikal Society,
Vol. 11,
No. 4,
pp. 157-167,
Oct. 2007.
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[320] Koichi Okamoto,
Manabu Adachi,
Kuniyuki Kakushima,
Parhat Ahmet,
Nobuyuki Sugii,
Kazuo Tsutsui,
Takeo Hattori,
Hiroshi Iwai.
Effective Control of Flat-band Voltage in HfO2 Gate Dielectric with La2O3 Incorporation,
ESSDERC 2007,
Sept. 2007.
国内会議発表 (査読有り)
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岡本晃一,
足立学,
角嶋邦之,
パールハット・アヘメト,
杉井信之,
筒井一生,
服部健雄,
岩井洋.
HfO2/Si 界面へのLa2O3 サブモノレイヤー添加による電気特性の変化,
秋季第68回応用物理学会学術講演会,
秋季第68回応用物理学会学術講演会予稿集,
pp. 820,
Sept. 2007.
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上村 英之,
足立 学,
角嶋 邦之,
パールハット アヘメト,
筒井 一生,
杉井 信之,
服部 健雄,
岩井 洋.
HfO2/SiO2 界面へのSc2O3 添加によるフラットバンド電圧シフト,
秋季第68回応用物理学会学術講演会,
秋季第68回応用物理学会学術講演会予稿集,
pp. 820,
Sept. 2007.
国内会議発表 (査読なし・不明)
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足立学,
岡本晃一,
舘喜一,
佐藤創志,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
杉井信之,
服部健雄,
岩井洋.
HfO2/ La2O3積層キャパシタにおけるLa2O3層に依存した界面層成長抑制の効果,
春季第55回応用物理学会学術講演会,
春季第55回応用物理学会学術講演会予稿集,
応用物理学会,
No. 2,
pp. 849,
Mar. 2008.
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岡本晃一,
舘喜一,
足立学,
佐藤創志,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
杉井信之,
筒井一生,
服部健雄,
岩井洋.
Hf O2系 High-kゲートMOSFETの電気特性に対するLa2O3界面層挿入効果,
春季第55回応用物理学会学術講演会,
春季第55回応用物理学会学術講演会 予稿集,
応用物理学会,
No. 2,
pp. 848,
Mar. 2008.
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