@inproceedings{CTT100879546,
  author = {堀 智貴 and 桃園 聡 and 平田 敦 and 青野祐子},
  title = {大電力パルススパッタリング法を用いたナノ粒子合成の基礎検討},
  booktitle = {2022年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集},
  year = 2022,
}