国際会議発表 (査読なし・不明)

• Seiro Murakami, Yasuko YANAGIDA, TAKESHI HATSUZAWA. Optimization for 3D device patterning in projection opties, ICPE2016, p. 11, Nov. 2016.

学位論文

• 高精度露光技術によるリソグラフィプロセス最適化と3D形状創成,  本文,  博士(工学),  東京工業大学,  2017/03/26, 
• 高精度露光技術によるリソグラフィプロセス最適化と3D形状創成,  要約,  博士(学術),  東京工業大学,  2017/03/26,   
• 高精度露光技術によるリソグラフィプロセス最適化と3D形状創成,  論文要旨,  博士(工学),  東京工業大学,  2017/03/26,   
• 高精度露光技術によるリソグラフィプロセス最適化と3D形状創成,  審査の要旨,  博士(工学),  東京工業大学,  2017/03/26,   

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