@inproceedings{CTT100722613, author = {大善俊明 and 齋藤滋規 and 井口洋二 and 藤原亮}, title = {表面電位計測時における走査型プロ^ブの複数本化によるプローブ間静電力の影響}, booktitle = {2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集}, year = 2016, }