@inproceedings{CTT100668905,
  author = {宮辺祐太郎 and 高橋篤司 and 松井知己 and 小平行秀 and 横山陽子},
  title = {ダブルパターニングにおけるリソグラフィECOのためのパターン局所修正法},
  booktitle = {電子情報通信学会技術研究報告 (VLD2013-149)},
  year = 2014,
}