国際会議発表 (査読有り)

• Kazuo Tsutsui, Masamitsu Watanabe, Yasumasa Nakagawa, Kazunori Sakai, Takayuki Kai, Cheng-Guo Jin, Yuichiro Sasaki, Kuniyuki Kakushima, Parhat Ahmet, Bunji Mizuno, Takeo Hattori, Hiroshi Iwai.. Profiling of Carrier Properties for Shallow Junctions Using a New Sub-nanometer Step-by-step Etching Technique, The 8th International Workshop on Junction Technology (IWJT2008), May 2008.

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 横田知之, 酒井一憲, パールハットアヘメト, 筒井一生, 岩井洋. 反復剥離法による3次元Fin構造中ドーピングプロファイル測定の提案, 第56回応用物理学関係連合講演会, 第56回応用物理学関係連合講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 873, Mar. 2009.
• 中川恭成, 野平博司, 酒井一憲, 横田 知之, 甲斐 隆行, 金成国, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 水野文二, 服部健雄, 筒井一生, 岩井洋. 光電子分光によるSi中Asの活性化状態の深さ方向分布評価, 秋季第69回応用物理学会学術講演会, 応用物理学会, 応用物理学会, No. 2, pp. 738, Sept. 2008.
• 酒井一憲, 中川恭成, 横田知之, 金成国, 岡下勝己, 佐々木雄一朗, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 水野文二, 服部健雄, 筒井一生, 岩井洋. 3次元Fin構造中不純物プロファイリングのための反復犠牲酸化エッチング, 秋季第69回応用物理学会学術講演会, 秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 749, Sept. 2008.
• 酒井一憲, 渡邉将光, 中川恭成, 金 成国, 岡下 勝己, 佐々木雄一朗, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 水野 文二, 服部健雄, 筒井一生, 岩井洋. 極浅接合プロファイリングのための反復犠牲酸化エッチング技術, 春季第55回応用物理学会学術講演会, 春季第55回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 900, Mar. 2008.

[ BibTeX 形式で保存 ]    [ 論文・著書をCSV形式で保存 ]    [ 特許をCSV形式で保存 ]