国内会議発表 (査読なし・不明)

• 横田知之, 酒井一憲, パールハットアヘメト, 筒井一生, 岩井洋. 反復剥離法による3次元Fin構造中ドーピングプロファイル測定の提案, 第56回応用物理学関係連合講演会, 第56回応用物理学関係連合講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 873, Mar. 2009.
• 中川恭成, 野平博司, 酒井一憲, 横田 知之, 甲斐 隆行, 金成国, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 水野文二, 服部健雄, 筒井一生, 岩井洋. 光電子分光によるSi中Asの活性化状態の深さ方向分布評価, 秋季第69回応用物理学会学術講演会, 応用物理学会, 応用物理学会, No. 2, pp. 738, Sept. 2008.
• 酒井一憲, 中川恭成, 横田知之, 金成国, 岡下勝己, 佐々木雄一朗, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 水野文二, 服部健雄, 筒井一生, 岩井洋. 3次元Fin構造中不純物プロファイリングのための反復犠牲酸化エッチング, 秋季第69回応用物理学会学術講演会, 秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 749, Sept. 2008.

[ BibTeX 形式で保存 ]    [ 論文・著書をCSV形式で保存 ]    [ 特許をCSV形式で保存 ]