@inproceedings{CTT100585126, author = {小林勇介 and 角嶋邦之 and パールハットアヘメト and ラオ ラムゴパル and 筒井一生 and 岩井洋}, title = {FinFETの閾値変動における短チャネル効果による影響の切り分け}, booktitle = {秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集}, year = 2008, }