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加藤寿 研究業績一覧 (1件)
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論文
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杉野林志,
Unsoon Kim,
Kyunghoon Min,
Ning Chen,
Huaqiang Wu,
Chungho Lee,
Fred Cheung,
Hiroyuki Kinoshita,
上西雅彦,
加藤寿,
多田新吾,
伊藤隆司.
塩素ガスエッチングを用いた微細MOS Elevated Source/Drain プロセス,
電子情報通信学会論文誌C,
(社)電子情報通信学会,
Vol. J91-C,
No. 7,
pp. 363-369,
July 2008.
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