@inproceedings{CTT100616054,
  author = {細井隆司 and 神田高志 and ダリューシュザデ and Yueh Chin Lin and 角嶋邦之 and パールハットアヘメト and 筒井一生 and 西山彰 and 杉井信之 and Edward Yi Chang and 名取研二 and 服部健雄 and 岩井洋},
  title = {絶縁膜材料を用いたIn0.53Ga0.47As MOSキャパシタの電気特性},
  booktitle = {},
  year = 2010,
}