@inproceedings{CTT100662336,
  author = {中村嘉基 and 細田修平 and Tuokedaerhan Kamale and 角嶋邦之 and 片岡好則 and 西山彰 and 若林整 and 杉井信之 and 筒井一生 and 名取研二 and 岩井洋},
  title = {W2Cゲート電極とLa-silicateゲート絶縁膜を用いたMOSキャパシタの信頼性評価},
  booktitle = {},
  year = 2013,
}