@inproceedings{CTT100784023, author = {津之浦徹 and 吉田克己 and 矢野豊彦 and 渡辺 健太 and 羽山 直輝 and 青木卓哉 and 笠原 新太 and 小笠原俊夫}, title = {溶融含浸法によるシリサイドマトリックスの形成}, booktitle = {}, year = 2018, }