@article{CTT100575155, author = {山下祥宣 and 細野高史 and 比田井洋史 and 戸倉和}, title = {光ファイバ伝送レーザ光を直接利用したシリコンのレーザアシストエッチング加工}, journal = {精密工学会誌}, year = 2008, } @article{CTT100500902, author = {細野高史 and 比田井洋史 and 戸倉和}, title = {高温金属とcBNとの反応性}, journal = {精密工学会誌}, year = 2004, } @inproceedings{CTT100554473, author = {山下祥宣 and 比田井洋史 and 戸倉和 and 細野高史}, title = {光ファイバ伝播光でのアシストエッチングによるシリコンの穴あけ}, booktitle = {2007年度精密工学会春期大会学術講演論文集}, year = 2007, } @inproceedings{CTT100392191, author = {細野高史 and 比田井洋史 and 戸倉 和}, title = {シリコンのレーザアシストウエットエッチング}, booktitle = {2005年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集}, year = 2005, } @inproceedings{CTT100392187, author = {細野高史 and 比田井洋史 and 戸倉 和}, title = {単結晶シリコンのレーザアシストウエットエッチング}, booktitle = {2005年度精密工学会秋期大会学術講演論文集}, year = 2005, } @inproceedings{CTT100467163, author = {細野高史 and 比田井洋史 and 戸倉和}, title = {立方晶窒化ホウ素(cBN)と金属との反応}, booktitle = {2002年度精密工学会春期大会学術講演論文集}, year = 2002, } @inproceedings{CTT100467161, author = {Takashi Hosono and Hirofumi Hidai and Hitoshi Tokura}, title = {Is cBN really inert with metals?}, booktitle = {Proceedings of the 3rd international conference and 4th general meeting}, year = 2002, }