@inproceedings{CTT100553768,
  author = {須田雄一郎 and 野武幸輝 and 高峻 and 佐野貴洋 and 大見俊一郎},
  title = {RFスパッタ法による3次元構造上へのSiO2薄膜の形成},
  booktitle = {第55回応用物理学関係連合講演会講演予稿集},
  year = 2008,
}

@inproceedings{CTT100553756,
  author = {野武幸輝 and 須田雄一郎 and 大見俊一郎},
  title = {SBSIプロセスによるSOI/BOX層の均一形成に関する検討},
  booktitle = {電子情報通信学会技術研究報告},
  year = 2007,
}

@inproceedings{CTT100553745,
  author = {野武幸輝 and 金本啓 and 加藤樹理 and 大見俊一郎},
  title = {SBSIプロセスによる極薄SOI/BOX層の均一形成に関する検討},
  booktitle = {第68回応用物理学会学術講演会 講演予稿集},
  year = 2007,
}