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野武幸輝 研究業績一覧 (3件)
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国内会議発表 (査読なし・不明)
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須田雄一郎,
野武幸輝,
高峻,
佐野貴洋,
大見俊一郎.
RFスパッタ法による3次元構造上へのSiO2薄膜の形成,
第55回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,
第55回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,
応用物理学会,
No. 2,
p. 881,
Mar. 2008.
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野武幸輝,
須田雄一郎,
大見俊一郎.
SBSIプロセスによるSOI/BOX層の均一形成に関する検討,
電子情報通信学会SDM研究会,
電子情報通信学会技術研究報告,
電子情報通信学会,
Vol. 107,
No. 245,
pp. 49-52,
Oct. 2007.
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野武幸輝,
金本啓,
加藤樹理,
大見俊一郎.
SBSIプロセスによる極薄SOI/BOX層の均一形成に関する検討,
第68回応用物理学会学術講演会,
第68回応用物理学会学術講演会 講演予稿集,
応用物理学会,
No. 2,
p. 859,
Sept. 2007.
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