論文

• Ken Atsumi, Shota Otobe, Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Pillar-Shaped Electrodes for 3-axis Gold-Proof-Mass MEMS Capacitive Accelerometers, Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS(DTIP2019), IEEE Conference Paper, IEEE, May 2019.  公式リンク  
  

国際会議発表 (査読有り)

• Takashi Ichikawa, Ken Atsumi, Tatsuya Koga, Daisuke Yamane, Shin-ichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A 100-nG/√Hz-Level Single Au Proof-Mass 3-Axis MEMS Accelerometer with Pillar-Shaped electrodes, Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS, June 2020.
• Daisuke Yamane, Shota Otobe, Ken Atsumi, Tatsuya Koga, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A 3-D PARALLEL-PLATE MEMS ACCELEROMETER WITH A GOLD PROOF MASS, 32nd Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019), pp. 684-687, Jan. 2019.  公式リンク  
  
• Shota Otobe, Tatsuya Koga, Ken Atsumi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shin-ichi Iida, Hiroyuki. Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Sub-1mG Tri-Axis MEMS Accelerometer with Multiple Segmented Capacitance Detection Electrodes, 31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2018), Nov. 2018.

国内会議発表 (査読有り)

• 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討, 第66回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019.
• 渥美 賢, 乙部 翔太, 古賀 達也, 市川 崇志, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタル技術によるピラー型容量検出電極の検討, 第66回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019.

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 市川崇志, 渥美賢, 古賀達也, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. 100 nG/√Hzレベルを目指したピラー型電極を有する単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討, 第81回 応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2020.
• 市川 崇志, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. ピラー型電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの感度均一化の検討, 第67回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2020.
• 渥美 賢, 古賀 達也, 市川 崇志, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. ピラー型電極を用いた単一錘3軸MEMS加速度センサの検討, 第67回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2020.
• 市川 崇志, 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 3Dピラー型Au錘MEMS加速度センサ, 第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 19am3-PS3-21, Nov. 2019.
• 市川 崇志, 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 曽根 正人, 益 一哉. Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討 (2), 第80回応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2019.

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