@inproceedings{CTT100926908, author = {Junnosuke Furuya and Koki Hihara and Kai Fukuchi and Taiki Osawa and Akane Yaida and AKITOSHI OKINO}, title = {349 mm linear type atmospheric remote plasma source for large area surface treatment}, booktitle = {International Journal of Plasma Environmental Science and Technology}, year = 2025, } @inproceedings{CTT100911710, author = {古谷淳之介 and 日原弘喜 and 八井田朱音 and 浦井一 and 上本道久 and 沖野晃俊}, title = {生体材料を均一処理するためのリニア型マルチガスプラズマ源の開発}, booktitle = {}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100910953, author = {日原弘喜 and 古谷淳之介 and 八井田朱音 and 沖野晃俊 and 西山伸彦}, title = {異種材料集積光回路作製に向けたパーティクルフリーリニア型プラズマによるシリコンウェハの処理}, booktitle = {}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100906628, author = {Koki Hihara and Junnosuke Furuya and Akane Yaida and Yusuke Itagawa and Nobuhiro Yoda and Hiroshi Kano and Hajime Urai and Nobuhiko Nishiyama and AKITOSHI OKINO}, title = {Development of atmospheric linear type plasma for fabrication of photonic biosensor}, booktitle = {}, year = 2023, } @inproceedings{CTT100905169, author = {Koki Hihara and Junnosuke Furuya and Akane Yaida and AKITOSHI OKINO and Nobuhiko Nishiyama}, title = {Silicon surface treatment by atmospheric large remote plasma for heterogeneous material integration}, booktitle = {}, year = 2023, } @inproceedings{CTT100902580, author = {古谷淳之介 and 日原弘喜 and 八井田朱音 and 沖野晃俊}, title = {12インチの半導体ウェハを親水化処理するためのリニア型大気圧プラズマ装置の開発}, booktitle = {}, year = 2023, } @inproceedings{CTT100896381, author = {古谷淳之介 and 日原弘喜 and 八井田朱音 and 沖野晃俊}, title = {大気圧リニア型プラズマ源による銅板の親水化実験}, booktitle = {}, year = 2023, } @inproceedings{CTT100896383, author = {古谷淳之介 and 日原弘喜 and 八井田朱音 and 沖野晃俊}, title = {コンタミネーションの少ない大気圧リニア型プラズマの開発}, booktitle = {}, year = 2023, } @inproceedings{CTT100887246, author = {日原弘喜 and 山内素明 and 沖野晃俊 and 西山伸彦}, title = {異種材料集積光回路に向けた 大気圧プラズマジェット処理したシリコンの 表面状態の観測}, booktitle = {}, year = 2023, } @inproceedings{CTT100887346, author = {日原弘喜 and 山内素明 and 沖野晃俊 and 西山伸彦}, title = {大気圧低温プラズマによるシリコン親水化処理に与える周辺ガスの影響}, booktitle = {}, year = 2022, } @inproceedings{CTT100882193, author = {日原弘喜 and MOATAZ Shaher Anis Mahmoud Eissa and 山口圭太 and 小野寺広夢 and 大磯義孝 and 雨宮智宏 and 沖野晃俊 and 西山伸彦}, title = {異種材料集積光回路に向けた大気圧プラズマによる半導体親水化の検討}, booktitle = {}, year = 2022, } @inproceedings{CTT100881682, author = {福山陽平 and 徐茂 and 日原弘喜 and 山内素明 and 沖野晃俊}, title = {大面積バリア放電を用いた亜酸化窒素の分解実験}, booktitle = {}, year = 2022, } @inproceedings{CTT100878506, author = {日原弘喜 and 森結登 and 青木元秀 and 梅村知也 and 沖野晃俊}, title = {誘電体バリア放電を用いたトルエン分解におけるオゾン添加の効果検証}, booktitle = {}, year = 2022, } @inproceedings{CTT100864598, author = {森結登 and 日原弘喜 and 末永祐磨 and 青木元秀 and 梅村知也 and 沖野晃俊}, title = {大流量医療排ガス分解のための多層型誘電体バリヤ放電処理装置の開発}, booktitle = {The 6th International Symposium on Biomedical Engineering}, year = 2021, } @inproceedings{CTT100861307, author = {森結登 and 日原弘喜 and 末永祐磨 and 梅村知也 and 青木元秀 and 沖野晃俊}, title = {大流量排気ガス分解を目的とした 多層型誘電体バリヤ放電処理装置の開発}, booktitle = {電気学会 東京支部カンファレンス・第11回学生研究発表会}, year = 2021, }