@inproceedings{CTT100685061, author = {Ryo Fujii and Kei Saito and SHAHIRA LIZA KAMIS and Hiroki Akasaka and Naoto Ohtake}, title = {Deposition of a-BCN film by reactive magnetron sputtering}, booktitle = {ISPlasma2015/IC-PLANT2015}, year = 2015, } @inproceedings{CTT100674866, author = {Shota Kondou and Kei Saito and Makoto Matsuo and Yoshinao Iwamoto and Hiroki Akasaka and Naoto Ohtake}, title = {Deposition of segment-structured DLC films by FCVA method}, booktitle = {The15th Inteenational Conference on Precision Engineering(ICPE2014)}, year = 2014, } @inproceedings{CTT100664750, author = {鈴木裕太郎 and 藤井瞭 and 齋藤啓 and 大竹尚登 and 赤坂大樹}, title = {13Cターゲットからのアモルファス炭素膜の作製}, booktitle = {第27回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集}, year = 2013, } @inproceedings{CTT100664753, author = {近藤翔太 and 齋藤啓 and 松尾誠 and 岩本喜直 and 赤坂大樹 and 大竹尚登}, title = {FCVA法によるセグメント構造DLC膜の作製と機械的特性評価}, booktitle = {第27回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集}, year = 2013, } @inproceedings{CTT100664757, author = {齋藤啓 and 藤井瞭 and 赤坂大樹 and 大竹尚登}, title = {FCVA法にほるアモルファス炭化ボロン膜の合成と機械的・電気的特性の評価}, booktitle = {第27回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集}, year = 2013, } @inproceedings{CTT100660288, author = {近藤翔太 and 齋藤 啓 and 松尾 誠 and 岩本喜直 and 赤坂大樹 and 大竹尚登}, title = {FCVA法によるセグメント構造DLC膜の作製}, booktitle = {2013年度精密工学会秋季大会講演論文集}, year = 2013, } @inproceedings{CTT100646328, author = {齋藤 啓 and 奥山紘章 and 赤坂 大樹 and 大竹 尚登}, title = {アダマント薄膜の合成と太陽光発電素子としての評価}, booktitle = {M&P2012}, year = 2012, } @inproceedings{CTT100619550, author = {永島清成 and 齋藤 啓 and 望月佳彦 and 大竹尚登}, title = {パルスプラズマ援用熱フィラメントCVD法による硬質炭素膜の合成}, booktitle = {2011年度精密工学会春季大会講演予稿集}, year = 2011, } @inproceedings{CTT100619548, author = {奥山 紘章 and 齋藤 啓 and 大竹 尚登}, title = {Sb含有アモルファス炭素膜の合成と電気的特性評価}, booktitle = {第58回応用物理学関係連合講演会講演予稿集}, year = 2011, }