@article{CTT100575155,
  author = {山下祥宣 and 細野高史 and 比田井洋史 and 戸倉和},
  title = {光ファイバ伝送レーザ光を直接利用したシリコンのレーザアシストエッチング加工},
  journal = {精密工学会誌},
  year = 2008,
}

@inproceedings{CTT100554473,
  author = {山下祥宣 and 比田井洋史 and 戸倉和 and 細野高史},
  title = {光ファイバ伝播光でのアシストエッチングによるシリコンの穴あけ},
  booktitle = {2007年度精密工学会春期大会学術講演論文集},
  year = 2007,
}

@inproceedings{CTT100554476,
  author = {山下祥宣 and 戸倉和 and 比田井洋史},
  title = {光ファイバ伝送レーザ光直接照射によるシリコンのウエットエッチング},
  booktitle = {2007年度砥粒加工学会学術講演会},
  year = 2007,
}