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守谷仁 研究業績一覧 (3件)
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国際会議発表 (査読有り)
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H.Moriya,
S.Hino,
N.Miura,
T.Oomori,
E.Tokumitsu.
Effect of Oxidant in MOCVD-growth of Al2O3 Gate Insurator on 4H-SiC MOSFET Properties,
7th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ECSCRM 2008),
Sept. 2008.
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H. Sauddin,
Y. Sasaki,
H. Ito,
B. Mizuno,
P. Ahmet,
K. Kakushima,
N. Sugii,
K. Tsutsui,
H. Iwai.
Leakage Current Characteristics of Ultra-Shallow Junctions formed by B2H6 Plasma Doping,
2006 Joint International Meeting of ECS,
Oct. 2006.
国内会議発表 (査読有り)
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日野史郎,
畑山 智裕,
加藤潤,
守谷仁,
三浦 成久,
大森 達夫,
徳光永輔.
極薄膜酸化膜を用いたAl2O3/SiC MOSFETのチャネル移動度の向上(Ⅱ),
第68回 応用物理学会学術講演会,
第68回 応用物理学会学術講演会,
No. 6p-ZN-9/Ⅰ,
Sept. 2007.
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