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金子喬 研究業績一覧 (1件)
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国際会議発表 (査読有り)
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Y. M. Lei,
T. Kaneko,
H. Wakabayashi,
K. Tsutsui,
H. Iwai,
K. Kakushima,
M. Furuhashi,
S. Tomohisa,
S. Yamakawa.
Influence of Interface ALD-SiO2 Layer for Lanthanum Silicate Gate Dielectrics for 4H-SiC MOS Capacitors,
47th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference (SISC2016),
Dec. 2016.
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