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OhyamaKenji 研究業績一覧 (1件)

国際会議発表 (査読有り)

S.Morishita, T.Goto, I.Akutsu, K.Ohyama, T.Ito, T.Ohmi. High-Speed Gas Replacement in Plasma Process Chamber due to Precise Down-Flow of Gas Using a Upper Shower Plate, 30th International Symposium on Dry Process, Dry Process International Symposium （DPS2008）, 30th International Symposium on Dry Process, pp. 63-64, Nov. 2008.

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