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齋藤啓 研究業績一覧 (9件)
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国際会議発表 (査読有り)
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Ryo Fujii,
Kei Saito,
SHAHIRA LIZA KAMIS,
Hiroki Akasaka,
Naoto Ohtake.
Deposition of a-BCN film by reactive magnetron sputtering,
ISPlasma2015/IC-PLANT2015,
ISPlasma2015/IC-PLANT2015,
ISPlasma2015/IC-PLANT2015,
CD-ROM,
D1-P-10,
Mar. 2015.
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Shota Kondou,
Kei Saito,
Makoto Matsuo,
Yoshinao Iwamoto,
Hiroki Akasaka,
Naoto Ohtake.
Deposition of segment-structured DLC films by FCVA method,
The15th Inteenational Conference on Precision Engineering(ICPE2014),
The15th Inteenational Conference on Precision Engineering(ICPE2014),
pp. 292-293,
July 2014.
国内会議発表 (査読なし・不明)
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鈴木裕太郎,
藤井瞭,
齋藤啓,
大竹尚登,
赤坂大樹.
13Cターゲットからのアモルファス炭素膜の作製,
第27回ダイヤモンドシンポジウム,
第27回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集,
一般社団法人ニューダイヤモンドフォーラム,
pp. 90-91,
Nov. 2013.
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近藤翔太,
齋藤啓,
松尾誠,
岩本喜直,
赤坂大樹,
大竹尚登.
FCVA法によるセグメント構造DLC膜の作製と機械的特性評価,
第27回ダイヤモンドシンポジウム,
第27回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集,
一般社団法人ニューダイヤモンドフォーラム,
pp. 96-97,
Nov. 2013.
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齋藤啓,
藤井瞭,
赤坂大樹,
大竹尚登.
FCVA法にほるアモルファス炭化ボロン膜の合成と機械的・電気的特性の評価,
第27回ダイヤモンドシンポジウム,
第27回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集,
一般社団法人ニューダイヤモンドフォーラム,
pp. 208-209,
Nov. 2013.
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近藤翔太,
齋藤 啓,
松尾 誠,
岩本喜直,
赤坂大樹,
大竹尚登.
FCVA法によるセグメント構造DLC膜の作製,
2013年度精密工学会秋季大会,
2013年度精密工学会秋季大会講演論文集,
公益社団法人 精密工学会,
CD-ROM,
Sept. 2013.
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齋藤 啓,
奥山紘章,
赤坂 大樹,
大竹 尚登.
アダマント薄膜の合成と太陽光発電素子としての評価,
第20回機械材料・材料加工技術講演会,
M&P2012,
CD-ROM,
Nov. 2012.
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永島清成,
齋藤 啓,
望月佳彦,
大竹尚登.
パルスプラズマ援用熱フィラメントCVD法による硬質炭素膜の合成,
2011年度精密工学会春季大会,
2011年度精密工学会春季大会講演予稿集,
A69,
Mar. 2011.
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奥山 紘章,
齋藤 啓,
大竹 尚登.
Sb含有アモルファス炭素膜の合成と電気的特性評価,
第58回応用物理学関係連合講演会,
第58回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,
応用物理学会,
06-094,
Mar. 2011.
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