論文

• Devi Srujana Tenneti, Chihaya Mukaide, Kisuke Miyado, Torauto Yamada, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito. Design and Evaluation of a Dual Detection Range Single-Axis MEMS Capacitive Accelerometer with Gold Proof-Mass Structure for Suppressed Warpage, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 64, p. 04SP20, Apr. 2025.  公式リンク  
  

国内会議発表 (査読有り)

• 東 智哉, 江川 聡, 吉井 俊貴, 黒子 弘道, 飯間 翔太, 栗岡 智行, 菅野 翔太, Chun Yi-Chen, Tso-Fu Mark Chang, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人. 微小圧縮試験による Ti/Au 積層膜上の電解金めっき膜の機械特性評価, 第72回応用物理学会春季学術講演会, 応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2025.
• WENDING HOU, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Nickel Electroplating Using a Supercritical Carbon Dioxide-Emulsified Nickel Sulfamate Electrolyte toward MEMS Applications, 第72回応用物理学会春季学術講演会, 応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2025.

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