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西山彰 研究業績一覧 (141件)
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論文
-
Takamasa Kawanago,
Yeonghun Lee,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Experimental study of electron mobility characterization in direct contact La-silicate/Si structure based nMOSFETs,
Solid-State Electronics,
Vol. 74,
pp. 2-6,
Aug. 2012.
-
マイマイティ マイマイティレャアティ,
久保田透,
関拓也,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Oxide and interface trap densities estimation in ultrathin W/ La2O3/Si MOS capacitors,
Microelectronics Reliability,
Vol. 52,
No. 6,
pp. 1039-1042,
June 2012.
-
C. Dou,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Resistive switching behavior of a CeO2 based ReRAM cell incorporated with Si buffer layer,
Microelectronics Reliability,
Vol. 32,
No. 4,
pp. 688-691,
Apr. 2012.
-
マイマイティ マイマイティレャアティ,
Miyuki Kouda,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Hiroshi Nohira,
Ahmet Parhat,
片岡好則,
西山彰,
KAZUO TSUTSUI,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Valance number transition and silicate formation of cerrium oxide on Si(100),
Vacuum,
Vol. 86,
No. 10,
pp. 1513-1516,
Apr. 2012.
-
Takamasa Kawanago,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Covalent Nature in La-Silicate Gate Dielectrics for Oxygen Vacancy Removal2,
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS,
Vol. 33,
No. 3,
pp. 423-425,
Mar. 2012.
-
マイマイティ マイマイティレャアティ,
Miyuki Kouda,
Takamasa Kawanago,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
片岡 好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
The effect of remote Coulomb scattering on electron mobility in La2O3 gate stacked MOSFETs,
Semiconductor Science and Technology,
Vol. 27,
No. 4,
Mar. 2012.
-
Takamasa Kawanago,
Yeonghun Lee,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
EOT of 0.62 nm and High Electron Mobility in La-silicate/Si Structure Based nMOSFETs Achieved by Utilizing Metal-Inserted Poly-Si Stacks and Annealing at High Temperature,
IEEE Transactions on Electron Devices,
Vol. 59,
No. 2,
pp. 269-276,
Feb. 2012.
-
Takamasa Kawanago,
鈴木 拓也,
Yeonghun Lee,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Compensation of oxygen defects in La-silicate gate dielectrics for improving effective mobility in high-k/metal gate MOSFET using oxygen annealing process,
Solid-State Electronics,
Vol. 68,
pp. .68-72,
Feb. 2012.
-
Miyuki Kouda,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Rare Earth Oxide Capping Effect on La2O3 Gate Dielectrics for Equivalent Oxide Thickness Scaling toward 0.5nm,
Japanese Journal of Applied Physics,
Vol. 50,
No. 10,
pp. 10PA04-1-4,
Oct. 2011.
-
来山大祐,
久保田透,
Tomotsune Koyanagi,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
[ 183] D. Kitayama, T. Kubota, T. Koyonagi, K. Kakushima, P. Ahmet, K. Tsutsui, A. Nishiyama, N. Sugii, K. Natori, T. Hattori, H. Iwai, “Silicate Reaction Control at Lanthanum Oxide and Silicon Interface for Equivalent Oxide Thickness of 0.5nm* Adjustment of Amount of Residual Oxygen Atoms in Metal Layer”, Japanese Journal of Applied Physics, Vol.50, No.10, pp.10PA05-1-5, October, 2011,
Japanese Journal of Applied Physics,
Vol. 50,
No. 10,
pp. 10PA05-1-5,
Oct. 2011.
-
ダリューシュザデ,
Takashi Kanda,
山下晃司,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Hiroshi Nohira,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Capacitance-Voltage Characterization of La2O3 Metal-Oxide-Semiconductor Structures on Ino.53Ga.0.47As Substrate with Different Surface Treatment Methods,
Japanese Journal of Applied Physics,
Vol. 50,
No. 10,
pp. 10PD03-1-4,
Oct. 2011.
-
来山大祐,
Tomotsune Koyanagi,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Effect of thin Si insertion at metal gate/high-k interface on electrical characteristics of MOS device with La2 O3,
Microelectronic Engineering,
Vol. 88,
No. 7,
pp. 1330-1333,
July 2011.
-
ダリューシュザデ,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Takashi Kanda,
Y.C.Lin,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
E.Y.Chang,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Improving electrical characteristics of W/HfO2/Ino.53Gao.47As gate stacks by altering deposition techniques,
Microelectronic Engineering,
Vol. 88,
No. 7,
pp. 1109-1112,
July 2011.
-
DARYOUSH ZADEH,
Soshi Sato,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
A. Srivastava,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
C.K. Sarkar,
HIROSHI IWAI.
Effects of La2O3 incorporation in HfO2 gated nMOSFETs on low-frequency noise,
Microelectronics Reliability,
Vol. 51,
pp. 746-750,
Apr. 2011.
国際会議発表 (査読有り)
-
DARYOUSH ZADEH,
Hiroshi Oomine,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Hitoshi Wakabayashi,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
HIROSHI IWAI.
Low DitHigh-k/In0.53Ga0.47As Gate Stack with CET down to 0.73 nm and Thermally Stable Silicide Contact by Suppression of Interfacial Reaction,
IEDM 2013,
2014.
-
ダリューシュザデ,
Hiroshi Oomine,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Hitoshi Wakabayashi,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
HIROSHI IWAI.
Scalable La-silicate Gate Dielectric on InGaAs Substrate with High Thermal Stability and Low Interface State Density,
2013 International Conference on Solid State Devices and Materials(SSDM),
2013.
-
Ahmet Parhat,
来山大祐,
金田翼,
鈴木 拓也,
Tomotsune Koyanagi,
Miyuki Kouda,
マイマイティ マイマイティレャアティ,
Takamasa Kawanago,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
TiN/W/La2O3 /Si High-k Gate Stack for EOT below o.5nm,
CSTIC2011,
2011.
-
Miyuki Kouda,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Rare earth oxide capping effect on La2O3 gate dielectrics toward EOT of 0.5nm,
2011 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices: Science and Technology(IWDTF-11),
2011.
-
unknown unknown,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
M. Geni,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
The Effect of Isotropic and Anisotropic Scattering in Drain Region of Ballistic Channel Diode,
ICSICT(International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology)2010,
Nov. 2010.
-
M. Mamatrishat,
Miyuki Kouda,
Takamasa Kawanago,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
A. Aierken,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
HIROSHI IWAI.
Effect of Remote-Surface –Roughness Scattering on Electron Mobility in MOSFETs with High-k Dielectrics,
ECS 218th Meeting,
Oct. 2010.
-
Naoto Shigemori,
Soshi Sato,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Suppression of Lateral Encroachment of Ni Silicide into Si Nanowires using Nitrogen Incorporation,
tECS 218th Meeting,
Oct. 2010.
-
M.Bera,
Ahmet Parhat,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
KAZUO TSUTSUI,
Nobuyuki Sugii,
西山彰,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Electrical Properties of Yttrium-Titanium Oxide High-k Gate Dielectric on Ge,
ECS 218th Meeting,
Oct. 2010.
-
Y. Wu,
Naoto Shigemori,
Soshi Sato,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
Nobuyuki Sugii,
西山彰,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Observation of Tunneling FET operation in MOSFET with NiSi/Si Schottky source/channel interface,
ECS 218th Meeting,
Oct. 2010.
-
Tomotsune Koyanagi,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Impact of Alkali-Earth-Elements Incorporation on Vfb R0ll-Off Characteristics of La2O3 Gated MOS Device,
ECS 218th Meeting,
Oct. 2010.
-
来山大祐,
Tomotsune Koyanagi,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
TiN Capping Effect on High Temperature Annealed RE-Oxide MOS Capacitors for Scaled EOT,
ECS 218th Meeting,
Oct. 2010.
-
Takamasa Kawanago,
Yeonghun Lee,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Optimized Oxygen Annealing Process for Vth Tuning of p-MOSFET with High-k/Metal Gate Stacks,
ESSDERC 2010, 40th European Solid-State Device Research Conference,
Sept. 2010.
-
AbudukelimuAbudureheman,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
HIROSHI IWAI,
takeo hattori,
KENJI NATORI.
Performance of Silicon Ballistic Nanowire MOSFET with Diverse Orientations and Diameters,
China Semiconductor Technology International Conference,
pp. 1111-1116,
Mar. 2010.
-
Wataru Hosoda,
Kenji Ozawa,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Fabrication of SB-MOSFETs on SOI Substrate Using Ni Silicide Containing Er Interlayer,
China Semiconductor Technology International Conference,
pp. 1105-1110,
Mar. 2010.
-
Katuya Matano,
Kiyohisa Funamizu,
Miyuki Kouda,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Electrical Characteristics of Rare Earth (La, Ce, Pr and Tm) Oxides/Silicates Gate Dielectric,
China Semiconductor Technology International Conference,
[,
pp. 1129-1134,
Mar. 2010.
-
Tomotsune Koyanagi,
Koichi Okamoto,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
AKIRA NISHIYAMA,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Impact of Alkali Earth Elements Incorporation on Electrical Characteristics of La2O3 Gated MOS Device,
ECS 216th Meeting,
vol. 25,
No. 6,
pp. 17-22,
Oct. 2009.
国際会議発表 (査読なし・不明)
-
Y. Wu,
Hiroki Hasegawa,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
大毛利健治,
T. Watanabe,
Hitoshi Wakabayashi,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
片岡好則,
Kenji Natori,
Keisaku Yamada,
HIROSHI IWAI.
Influence of Band Discontinuities at Source-Channel contact in Tunnel FET Performance,
2013 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ELECTRON DEVICES-SCINCE AND TECHNOLOGY-,
2014.
-
Takamasa Kawanago,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Hitoshi Wakabayashi,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
HIROSHI IWAI.
Advantage of TiN Schottky Gate over Conventional Ni for Improved Electrical Characteristics in AlGaN/GaN HEMT,,
The Workshop on Future Trend of Nanoelectronics:WIMNACT 39,
2014.
-
unknown unknown,
竇春萌,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Hitoshi Wakabayashi,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
HIROSHI IWAI.
A study on Resistive Memory based on Breakdown and Anodic Reoxidation of thin SiO2 on NiSi2 Electrode with CeOx Buffer Layer,
The Workshop on Future Trend of Nanoelectronics:WIMNACT 39,
2014.
-
Mari Okamoto,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Hitoshi Wakabayashi,
KAZUO TSUTSUI,
HIROSHI IWAI.
An Ohmic Contact Process for AlGaN/GaN Structures using TiS,
The 1st IEEE Workshop on Wide Bandgap Power Devices and Applications,
2014.
-
Y. Wu,
Hiroki Hasegawa,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Hitoshi Wakabayashi,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
片岡好則,
Kenji Natori,
HIROSHI IWAI.
Influence of structure parameter on Mg2Si-Si Hetero-junction Tunneling FET,
The Workshop on Future Trend of Nanoelectronics:WIMNACT 39,
2014.
-
K. Tuokedaerhan,
Shuhei Hosoda,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Hitoshi Wakabayashi,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
HIROSHI IWAI.
Mobility Improvement of La-silicate MOSFET by W2C Gate Electrode,
The Workshop on Future Trend of Nanoelectronics:WIMNACT 39,
K. Tuokedaerhan, S. Hosoda, K. Kakushima, Y. Kataoka, A. Nishiyama, N. Sugii, H. Wakabayashi, K. Tsutsui, K. Natori, H. Iwai, “Mobility Improvement of La-silicate MOSFET by W2C Gate Electrode”, The Workshop on Future Trend of Nanoelectronics:WIMNACT 39, February 7, 2014, Suzukake Hall, Suzukakedai Campus, Tokyo Institute of Technology, Japan,
2014.
-
wei li,
佐々木亮人,
大図秀行,
青木克明,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Hitoshi Wakabayashi,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
HIROSHI IWAI.
Resistivity Measurement of Monoclinic Thin Tungsten Oxide Film Due to Annealing Processesn,
The Workshop on Future Trend of Nanoelectronics:WIMNACT 39,
2014.
-
Jiangning Chen,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Hitoshi Wakabayashi,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
HIROSHI IWAI,
齋藤渉.
Electrical characteristics of AlGaN/GaN HEMT with La2O3 gate dielectricsn,
The Workshop on Future Trend of Nanoelectronics:WIMNACT 39,
2014.
-
Taichi Inamura,
Takafumi Katou,
佐々木亮人,
青木克明,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Hitoshi Wakabayashi,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
HIROSHI IWAI.
A study on silicide semiconductors for high efficiency thin film photovoltaic devices,
The Workshop on Future Trend of Nanoelectronics:WIMNACT 39,
2014.
-
K. Tuokedaerhan,
Shuhei Hosoda,
Yoshinori Nakamura,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Hitoshi Wakabayashi,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
HIROSHI IWAI.
Influence of Carbon Incorporation in W Gate Electrode for La-silicate Gate Dielectrics,
2013 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ELECTRON DEVICES-SCINCE AND TECHNOLOGY,
2014.
-
Shuhei Hosoda,
K. Tuokedaerhan,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Hitoshi Wakabayashi,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
HIROSHI IWAI.
Reliability of La-silicate MOS capacitors with tungsten carbide gate electrode for scaled EOT,
ECS 224nd Meeting,
ECS Transactions,
Vol. 58,
No. 7,
pp. 61-64,
Oct. 2013.
-
宋 禛漢,
Kazuki Matsumoto,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
片岡好則,
西山彰,
杉井信之,
Hitoshi Wakabayashi,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
HIROSHI IWAI.
Resistivity of Ni silicide nanowires and its dependence on Ni film thickness used for the formation,
ECS 224nd Meeting,
ECS Transactions,
Vol. 58,
No. 7,
pp. 87-91,
Oct. 2013.
-
Hiroshi Oomine,
DARYOUSH ZADEH,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Hitoshi Wakabayashi,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
HIROSHI IWAI.
Electrical characterization of atomic layer deposited La2O3 films on In0.53Ga0.47AAs substrates,
ECS 224nd Meeting,
ECS Transactions,
Vol. 58,
No. 7,
pp. 385-389,
Oct. 2013.
-
Taichi Inamura,
佐々木亮人,
青木克明,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Hitoshi Wakabayashi,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
HIROSHI IWAI.
A stacked sputtered process for β-FeSi2 formation,
ECS 224nd Meeting,
ECS Transactions,
Oct. 2013.
-
Taichi Inamura,
佐々木亮人,
青木克明,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Hitoshi Wakabayashi,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
HIROSHI IWAI.
A stacked sputtered process for β-FeSi2 formation,
ECS 224nd Meeting,
ECS Transactions,
Oct. 2013.
-
Yuya Suzuki,
ダリューシュザデ,
Hiroshi Oomine,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Interface Engineering of La2O3/InGaAs Capacitors with High Temperature Stability,
Workshop and IEEE EDS Mini-colloquium on Nanometer CMOS Technology (WIMNACT 37),
2013.
-
Jiangning Chen,
鹿 国強,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Electrical characteristics of AlGaN/GaN HEMT with La-oxide gate dielectrics,
Workshop and IEEE EDS Mini-colloquium on Nanometer CMOS Technology (WIMNACT 37),
2013.
-
Jiangning Chen,
鹿 国強,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Electrical characteristics of AlGaN/GaN HEMT with La-oxide gate dielectrics,
Workshop and IEEE EDS Mini-colloquium on Nanometer CMOS Technology (WIMNACT 37),
2013.
-
Jiangning Chen,
鹿 国強,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Electrical characteristics of AlGaN/GaN HEMT with La-oxide gate dielectrics,
Workshop and IEEE EDS Mini-colloquium on Nanometer CMOS Technology (WIMNACT 37),
2013.
-
Wei Li,
中島一裕,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Extraction of Interface State Density of 3-dimensional Si channel,
Workshop and IEEE EDS Mini-colloquium on Nanometer CMOS Technology (WIMNACT 37),
2013.
-
Yuta Tamura,
吉原亮,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
A novel Ni silicidation technology for Schottky diode formation,
G-COE PICE International Symposium and IEEE EDS Minicolloquium on Advanced Hybrid Nano Devices: Prospects by World’s Leading Scientists,
2013.
-
DARYOUSH ZADEH,
Yuya Suzuki,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Characterization of metal Schottky junction for InGaAs substrate,
G-COE PICE International Symposium and IEEE EDS Minicolloquium on Advanced Hybrid Nano Devices: Prospects by World’s Leading Scientists,
2013.
-
unknown unknown,
A. Ablimit,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Electron transport in ballistic diodes: influence of phonon generation in drain region,
G-COE PICE International Symposium and IEEE EDS Minicolloquium on Advanced Hybrid Nano Devices: Prospects by World’s Leading Scientists,
2013.
-
マイマイティ マイマイティレャアティ,
関拓也,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Evaluation of oxide traps in La based oxides for direct high-k/Si capacitor,
G-COE PICE International Symposium and IEEE EDS Minicolloquium on Advanced Hybrid Nano Devices: Prospects by World’s Leading Scientists,
2013.
-
Takamasa Kawanago,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KAZUO TSUTSUI,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Nitrogen incorporated La-silicate gate dielectric with high scalability,
[G-COE PICE International Symposium and IEEE EDS Minicolloquium on Advanced Hybrid Nano Devices: Prospects by World’s Leading Scientists,
2013.
-
小山将央,
Naoto Shigemori,
Kenji Ozawa,
Kiichi Tachi,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
O. Nakatsuka,
大毛利健治,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Keisaku Yamada,
HIROSHI IWAI.
Si/Ni-Silicide Schottky Junctions with Atomically Flat Interfaces Using NiSi2 Source,
41st European Solid-State Device Research Conference,
2013.
-
Takamasa Kawanago,
Yeonghun Lee,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Metal Inserted Poly-Si wirh High Temperature Annealing for Achieving EOT of 0.62nm in La-silicate MOSFET,
41st European Solid-State Device Research Conference,
2013.
-
Takamasa Kawanago,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Interface properties of La-silicate gate dielectrics on Si(110)surface,
Workshop and IEEE EDS Mini-colloquium on Nanometer CMOS Technology (WIMNACT 37),
2013.
-
Takamasa Kawanago,
Yeonghun Lee,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Characterization of Effective Electron Mobility in n/MOSFETs with Direct Contact La-silicate/Si Structure,
15th International Conference on Thin Films,
2013.
-
Yuta Tamura,
吉原亮,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
中塚理,
パールハットアヘメト,
Hiroshi Nohira,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Electrical Properties of Ultrathin-Nickel-Silicide Schottky Diodes on Si(100),
15th International Conference on Thin Films,
2013.
-
マイマイティ マイマイティレャアティ,
関拓也,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Evaluation of oxide traps in La based oxides for direct high-k/Si capacitor,
IEEE EDS MQ WIMNACT 32 C0-sponsored by EDS Japan Chapter and TIT,
2012.
-
Takamasa Kawanago,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Nitrogen incorporated La-silicate gate dielectric with high scalability,
IEEE EDS MQ WIMNACT 32 C0-sponsored by EDS Japan Chapter and TIT,
2012.
-
Takamasa Kawanago,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
(100)-and (110)-oriented nMOSFETs with highly Scaled EOT in La-silicate/Si Interface for Multi-gate Architecture,
ESSDERC 2012,
2012.
-
竇春萌,
Soshi Sato,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Kenji Natori,
HIROSHI IWAI,
takeo hattori.
Si nanowire FET with asymmetric channel,
IEEE EDS MQ WIMNACT 32 C0-sponsored by EDS Japan Chapter and TIT,
2012.
-
Takamasa Kawanago,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
片岡好則,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
(100)-and (110)-oriented nMOSFETs with highly Scaled EOT in La-silicate/Si Interface for Multi-gate Architecture,
ESSDERC 2012,
2012.
-
unknown unknown,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Influence of Heat Generation within Drain Region on Transport of Hot Electrons,
IEEE EDS MQ WIMNACT 32 C0-sponsored by EDS Japan Chapter and TIT,
2012.
-
竇春萌,
Soshi Sato,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Kenji Natori,
HIROSHI IWAI,
takeo hattori.
Si nanowire FET with asymmetric channel,
IEEE EDS MQ WIMNACT 32 C0-sponsored by EDS Japan Chapter and TIT,
2012.
-
Miyuki Kouda,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Preparation and electrical characterization of CeO2 films for gate dielectrics application: comparative study of CVD and ALD processes,
2011 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices: Science and Technology(IWDTF-11),
2011.
-
ダリューシュザデ,
Takashi Kanda,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Effects of In0.53Ga0.47As Surface Preparation on MOS Device Electrical Characterization,
2011 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices: Science and Technology(IWDTF-11),
2011.
-
Naoto Shigemori,
Soshi Sato,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
An effective suppression process for Ni silicide enchroachment into Si nanowire,
Taiwan-Japan Workshop on “Nano Devices”,
2011.
-
小山将央,
Naoto Shigemori,
Hideaki Arai,
Soshi Sato,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Lateral encroachment of Ni silicide into silicon nanowire,
Taiwan-Japan Workshop on “Nano Devices”,
2011.
-
中島一裕,
Soshi Sato,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Interface State Density Measurement of Three Dimensional Silicon Structures by Charge Pumping Method,
Taiwan-Japan Workshop on “Nano Devices”,
2011.
-
Takamasa Kawanago,
鈴木 拓也,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
An effective process for oxygen defect suppression for La-based oxide gate dielectric,
Taiwan-Japan Workshop on “Nano Devices”,
2011.
-
金田翼,
Miyuki Kouda,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Effect of rare earth oxide capping for La-based gate oxides,
Taiwan-Japan Workshop on “Nano Devices”,
2011.
-
マイマイティ マイマイティレャアティ,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
HIROSHI IWAI.
Remote-surface-roughness scattering-limited electron, mobility in ultrathin high-k gate stacked MOSFETs,
Taiwan-Japan Workshop on “Nano Devices”,
2011.
-
来山大祐,
久保田 透,
Tomotsune Koyanagi,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Precise Control of Silicate Reaction with La2O3 Gate Dielectrics towards Equivalent Oxide Thickness of 0.5 nm,
Taiwan-Japan Workshop on “Nano Devices”,
2011.
-
Takashi Kanda,
ダリューシュザデ,
Y. C. Lin,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
E.Y. Chang,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Annealing Effect on the Electrical Properties of La2O3/InGaAs MOS Capacitors,
CSTIC2011,
2011.
-
Takamasa Kawanago,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Metal Inserted Poly-Si Stacks with La2O3 Gate Dielectrics for Scaled EOT and VFB Control by Oxygen Incorporation,
CSTIC2011,
2011.
-
Ahmet Parhat,
来山大祐,
金田翼,
鈴木 拓也,
Tomotsune Koyanagi,
Miyuki Kouda,
マイマイティ マイマイティレャアティ,
Takamasa Kawanago,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Effects of Metal Layer Insertion on EOT scaling in TiN/Metal/ La2O3 Si High –k Gate Stacks,
,219th ECS Meeting,
2011.
-
C. Dou,
向井 弘樹,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Resistive switching behaviors of ReRAM having W/CeO2/Si/TiN structure,
219th ECS Meeting,
2011.
-
Miyuki Kouda,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Electrical Properties of Rare-Earth oxides and La2O3 Stacked Gate Dielectrics,
ECS 220th Meeting,ECS Transactions,
ECS Transactions,
Vol. 41,
No. 7,
pp. 119-124,
2011.
-
竇春萌,
Soshi Sato,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Si nanowire FET with asymmetric channel,
Tsukuba Nanotechnology Symposium(TNS’11),
2011.
-
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Tomotsune Koyanagi,
来山大祐,
Miyuki Kouda,
Jaeyeol Song,
Takamasa Kawanago,
M. Mamatrishat,
Kiichi Tachi,
M. K. Bera,
Ahmet Parhat,
Hiroshi Nohira,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
Keisaku Yamada,
HIROSHI IWAI.
Direct Contact of High-k/Si Gate Stack for EOT below 0.7 nm using LaCe-silicate Layer with Vfb controllability,
2010 Symposium on VLSI Technology,
June 2010.
国内会議発表 (査読なし・不明)
-
鹿国強,
大嶺洋,
ザデハサン ダリユーシユ,
角嶋邦之,
西山彰,
杉井信之,
片岡好則,
若林整,
筒井一生,
名取研二,
岩井洋.
ALD堆積条件によるLa2O3/In0.53Ga0.47Asキャパシタの電気特性への影響,
第74回応用物理学会秋季学術講演会,
2013.
-
今村浩章,
稲村太一,
角嶋邦之,
片岡好則,
西山彰,
杉井信之,
若林整,
筒井一生,
名取研二,
岩井洋.
Krガスを用いた積層シリサイド化スパッタプロセスにより形成したNiSi2の薄膜評価,
第74回応用物理学会秋季学術講演会,
2013.
-
岡本真里,
松川佳弘,
角嶋邦之,
片岡好則,
西山彰,
杉井信之,
若林整,
筒井一生,
名取研二,
岩井洋.
TiSi2電極の熱処理によるAlGaN/GaNへのコンタクト特性の変化,
第74回応用物理学会秋季学術講演会,
2013.
-
小路智也,
石川昂,
角嶋邦之,
片岡好則,
西山彰,
杉井信之,
若林整,
筒井一生,
名取研二,
岩井洋.
チャージポンピング法を用いた立体Si構造の絶縁膜界面準位の位置推定,
第74回応用物理学会秋季学術講演会,
2013.
-
中村嘉基,
細田修平,
Tuokedaerhan Kamale,
角嶋邦之,
片岡好則,
西山彰,
若林整,
杉井信之,
筒井一生,
名取研二,
岩井洋.
W2Cゲート電極とLa-silicateゲート絶縁膜を用いたMOSキャパシタの信頼性評価,
第74回応用物理学会秋季学術講演会,
2013.
-
長谷川明紀,
呉研,
宋 禛漢,
角嶋邦之,
片岡好則,
西山彰,
杉井信之,
若林整,
筒井一生,
名取研二,
岩井洋.
低バンドギャップ、バンドオフセットを持つ半導体シリサイド/Si接合によるトンネルFET特性向上,
第74回応用物理学会秋季学術講演会,
2013.
-
石川昂,
小路智也,
角嶋邦之,
若林整,
片岡好則,
西山彰,
杉井信之,
筒井一生,
名取研二,
岩井洋.
チャージポンピング法を用いた三次元Si構造の界面準位密度測定,
第74回応用物理学会秋季学術講演会,
2013.
-
宋 禛漢,
松本一輝,
角嶋邦之,
片岡好則,
西山彰,
杉井信之,
若林整,
筒井一生,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
Niシリサイドナノワイヤ抵抗率のNi膜厚依存性,
第74回応用物理学会秋季学術講演会,
2013.
-
田中 祐樹,
川那子高暢,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
シリコン基板上に堆積したナノカーボン薄膜への高温短時間アニーリングの影響,
第72回応用物理学会学術講演会,
2011.
-
関 拓也,
来山大祐,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
High-k/Si 直接接合構造における界面準位の定量評価について,
第72回応用物理学会学術講演会,
2011.
-
Kamale Tuokedaerhan,
金田翼,
マイマイティ マイマイティレャアティ,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
La2O3/n-Si 構造に対するPost Deposition Annealの電気特性への影響,
第72回応用物理学会学術講演会,
2011.
-
常石佳奈,
来山大祐,
幸田みゆき,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
W/Tm2O3/n-Si構造キャパシタの電気特性におけるTm2O3膜厚依存性,
第72回応用物理学会学術講演会,
2011.
-
鈴木佑哉,
細井隆司,
ダリューシュザデ,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
high-k/In0.53Ga0.47As MOS キャパシタの容量-電圧特性の解析,
第72回応用物理学会学術講演会,
2011.
-
松本一輝,
小山将央,
呉研,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
酸化膜被覆型SiナノワイヤおよびSi Fin構造におけるNiシリサイド成長機構の検討,
第72回応用物理学会学術講演会,
2011.
-
田村雄太,
角嶋邦之,
中塚 理,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
NiとSiの積層薄膜によって形成したシリサイドのシート抵抗に対する熱処理温度の影響,
第72回応用物理学会学術講演会,
2011.
-
LiWei,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
コンダクタンス法による立体チャネルを有するMOSキャパシタの界面準位密度の評価,
第72回応用物理学会学術講演会,
2011.
-
叶真一,
MokhammadSholihul Hadi,
竇春萌,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
希土類酸化物(CeOX)を用いたMIM構造の抵抗スイッチング特性,
第72回応用物理学会学術講演会,
2011.
-
細田倫央,
李映勲,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
岩井洋.
矩形断面SiナノワイヤMOSFETにおけるフォノン散乱に制限された移動度のサイズ依存性,
第72回応用物理学会学術講演会,
2011.
-
来山大祐,
小柳友常,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
高温短時間熱処理を用いた希土類MOSキャパシタへのTiNキャップ効果,
第71回応用物理学会学術講演会,
Sept. 2010.
-
小山 将央,
茂森直登,
佐藤創志,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
西山彰,
筒井一生,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
窒素導入によるSiナノワイヤ内へのNiシリサイド侵入抑制機構の検討,
第71回応用物理学会学術講演会,
Sept. 2010.
-
鈴木 拓也,
川那子高暢,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
希釈酸素雰囲気熱処理を用いたLaシリケート/Si MOS構造のVFB/Vthシフトの低EOTへの適用,
第71回応用物理学会学術講演会,
Sept. 2010.
-
マイマイティ マイマイティレャアティ,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
High-kゲートスタックMOSFETにおける電子移動度のリモート界面ラフネス散乱依存性,
第71回応用物理学会学術講演会,
Sept. 2010.
-
金田翼,
幸田みゆき,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
Tm-oxide/La2O3構造ゲート絶縁膜の界面特性評価,
第71回応用物理学会学術講演会,
Sept. 2010.
-
細井隆司,
神田高志,
ダリューシュザデ,
Yueh Chin Lin,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
Edward Yi Chang,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
絶縁膜材料を用いたIn0.53Ga0.47As MOSキャパシタの電気特性,
第71回応用物理学会学術講演会,
Sept. 2010.
-
呉研,
茂森直登,
佐藤創志,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
トンネルFET動作に向けたNiシリサイド/Si接触におけるトンネル電流の観測,
第71回応用物理学会学術講演会,
Sept. 2010.
-
竇 春萌,
マイマイティ マイマイティレャアティ,
ダリューシュザデ,
佐藤創志,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
希土類(Ce,Eu)酸化物MIM構造の抵抗スイッチング特性,
第71回応用物理学会学術講演会,
Sept. 2010.
-
中島 一裕,
佐藤創志,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
チャージポンピング法による立体Si構造の界面準位密度の評価,
第71回応用物理学会学術講演会,
Sept. 2010.
-
角嶋邦之,
小柳友常,
来山大祐,
幸田みゆき,
宋在烈,
佐藤創志,
川那子高暢,
M. マイマイティ,
舘喜一,
M.K. Bera,
パールハットアヘメト,
野平博司,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
山田啓作,
岩井洋.
LaCe シリケート膜を用いたEOT<0.7nm の直接接合 high-k/Si の実現とフラットバンド電圧制御,
応用物理学会分科会 シリコンテクノロジー,
,野平博司,筒井一生,西山彰,杉井信之,名取研二,服部健雄,山田啓作,岩井洋“LaCe シリケート膜を用いたEOT<0.7nm の直接接合 high-k/Si の実現とフラットバンド電圧制御” 応用物理学会分科会 シリコンテクノロジー No.127 pp.4-8(2010年7月22日 ),
No. 127,
pp. 4-8,
July 2010.
-
来山大祐,
小柳友常,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
EOT=0.5nmに向けた希土類MOSデバイスの高温短時間熱処理の検討,
電子情報通信学会技術研究報告 pp.43-48,
June 2010.
-
茂森直登,
佐藤創志,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
SiナノワイヤへのNiシリサイド形成と過剰な侵入とその抑制に関する検討,
電子情報通信学会技術研究報告 pp.17-22,
June 2010.
-
来山 大祐,
小柳友常,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
来山大祐,小柳友常,角嶋邦之,パールハット アヘメト,筒井一生,西山彰,杉井信之,名取研二,服部健雄,岩井洋“EOT=0.5nm に向けたTaSi2/La2O3/CeOxゲートスタック構造の検討,
第57回応用物理学関係連合講演会,
第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,
pp. 13-094,
Mar. 2010.
-
ダリューシュ ザデ,
佐藤創志,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
界面にLa2O3 絶縁膜層を挿入したHf系high-kゲートMOSFETの評価,
第57回応用物理学関係連合講演会,
第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,
pp. 13-095,
Mar. 2010.
-
小澤健児,
幸田みゆき,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
La2O3 MOSFETへのCeOxキャップによる電気特性の改善,
第57回応用物理学関係連合講演会,
第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,
pp. 13-096,
Mar. 2010.
-
幸田みゆき,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
希土類酸化物をキャップすることによるMOSFETの電気特性の改善,
第57回応用物理学関係連合講演会,
第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,
pp. 13-097,
Mar. 2010.
-
神田高志,
船水清永,
Yueh Chin Lin,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
Edward Yi Chang,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
HfO2/ La2O3/ In0.53 Ga0.47As構造の界面特性の変化,
第57回応用物理学関係連合講演会,
第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,
pp. 13-141,
Mar. 2010.
-
川那子高暢,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
酸素添加がWゲートMOSデバイスの電気特性に与える影響,
第57回応用物理学関係連合講演会,
第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,
pp. 13-151,
Mar. 2010.
-
茂森直登,
新井英朗,
佐藤創志,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
西山彰,
筒井一生,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
酸化膜中のSiナノワイヤへのNi拡散の制御,
第57回応用物理学関係連合講演会,
第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,
pp. 13-269,
Mar. 2010.
-
小柳友常,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
La2O3 MOSデバイスへのアルカリ土類元素キャップによる電気特性の変化,
第57回応用物理学関係連合講演会,
第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,
pp. 13-098,
Mar. 2010.
-
竇春萌,
向井弘樹,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
Feasibility study of Ce oxide for resistive RAM application,
複合創造領域シンポジウム,
2010.
-
久保田透,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
Spectroscopic analysis of interface state density in high-k/Si structure,
複合創造領域シンポジウム,
2010.
-
来山大祐,
小柳友常,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
Process Optimization of Rare-Earth Oxides Gated MOS Devices for Future EOT Scaling,
複合創造領域シンポジウム,
2010.
-
マイマイティ マイマイティレャアティ,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
岩井洋.
Remote Coulomb and roughness scatterings in gate oxide scaling,
複合創造領域シンポジウム,
2010.
-
金田翼,
幸田みゆき,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
Effect of Rare Earth Oxide Capping for La-based Gate Oxides,
複合創造領域シンポジウム,
2010.
-
小柳友常,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
Flatband Voltage Shift of La-based Gate Oxides with Alkali-earth-elements Incorporation,
複合創造領域シンポジウム,
2010.
-
川那子高暢,
鈴木 拓也,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
An Effective Process for Oxygen Defects Suppression for La-based Oxide Gate Dielectric,
複合創造領域シンポジウム,
2010.
-
中島一裕,
佐藤創志,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
Interface state density of 3-D structured Si using charge pumping method,
複合創造領域シンポジウム,
2010.
-
小山将央,
茂森直登,
新井英朗,
佐藤創志,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
Lateral encroachment of Ni silicide into Si nanowire,
複合創造領域シンポジウム,
2010.
-
茂森直登,
佐藤創志,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
西山彰,
筒井一生,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
Suppression of Lateral Encroachment of Ni Silicide into Si Nanowires using Nitrogen Incorporation,
複合創造領域シンポジウム,
2010.
-
AbudukelimuAbudureheman,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
The Effect of Scattering in Drain Region of Ballistic Channel Diode,
複合創造領域シンポジウム,
2010.
-
呉研,
茂森直登,
佐藤創志,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
Observation of Tunneling FET operation in MOSFET with NiSi/Si Schottky source/channel interface,
複合創造領域シンポジウム,
2010.
-
ダリューシュザデ,
神田高志,
細井隆司,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
西山彰,
杉井信之,
名取研二,
服部健雄,
岩井洋.
Towards High Performance III-V MOSFET, A Study on high-k Gate Stacks on In0.53Ga0.47As,
複合創造領域シンポジウム,
2010.
-
Takamasa Kawanago,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Experimental Investigation of VFB shift and Effective Mobility in La2O3 MOS Devices,
G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices,
Oct. 2009.
-
Tomotsune Koyanagi,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Influence of Alkali Earth Elements Capping on Electrical Characteristics of La2O3 Gated MOS Device,
G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices,
Oct. 2009.
-
Wataru Hosoda,
Kenji Ozawa,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
A Study of Schottky Barrier Height Modulation of NiSi by Interlayer Insertion and Its Application to SOI SB-MOSFETs,
G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices,
Oct. 2009.
-
Kiyohisa Funamizu,
Takashi Kanda,
Y.C.Lin,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
E.Y.Chang,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Electrical Characteristics of HfO2 and La2O3 Gate Dielectrics for In0.53Ga0.47As MOS Structure,
G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices,
Oct. 2009.
-
Hideaki Arai,
Hideyuki Kamimura,
Soshi Sato,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
西山彰,
KAZUO TSUTSUI,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Annealing Reaction for Ni Silicidation of Si Nanowire,
G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices,
Oct. 2009.
-
A.Abudukelimu,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
Ahmet Parhat,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
KENJI NATORI,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Current-Voltage Characteristics of Ballistic Nanowire MOSFET by Numerical Analysis,
G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices,
Oct. 2009.
-
M.K. Bera,
Jaeyeol Song,
Ahmet Parhat,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
KAZUO TSUTSUI,
西山彰,
Nobuyuki Sugii,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Rare-earth based mixed oxide as high-k gate dielectrics for Ge MOSFET,
G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices,
Oct. 2009.
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