論文

• H Wong, B.L. Yang, S. Dong, HIROSHI IWAI, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat. Current conduction and stability of CeO2/La2O3 stacked gate dielectric, APPLIED PHYSICS LETTERS, Vol. 101, 233507, Dec. 2012.
• Miyuki Kouda, 鈴木 拓也, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, HIROSHI IWAI, 安田哲二. Electrical Properties of CeO2/La2O3 Stacked Gate Dielectrics Fabricated by Chemical Vapor Deposition and Atomic Layer Deposition, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 51, pp. 121101-1-121101-5,, Dec. 2012.
• Takamasa Kawanago, Yeonghun Lee, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Experimental study of electron mobility characterization in direct contact La-silicate/Si structure based nMOSFETs, Solid-State Electronics, Vol. 74, pp. 2-6, Aug. 2012.
• 鈴木 拓也, 久保田透, Ahmet Parhat, HIROSHI IWAI. La2O3 gate insulators prepared by atomic layer deposition: Optimal growth conditions and MgO/La2O3 stacks for improved metal-oxide-semiconductor characteristics, Journal of Vacuum Science & Technology A, Vol. 30, No. 5, pp. 051507-1-8, July 2012.
• マイマイティ マイマイティレャアティ, 久保田透, 関拓也, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 片岡好則, 西山彰, Nobuyuki Sugii, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Oxide and interface trap densities estimation in ultrathin W/ La2O3/Si MOS capacitors, Microelectronics Reliability, Vol. 52, No. 6, pp. 1039-1042, June 2012.
• unknown unknown, W. Yasenjiang, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, M. Geni, Kenji Natori, HIROSHI IWAI. Influence of strained drain on performance of ballistic channel devices, Semiconductor Science and Technology, Vol. 27, No. 5, pp. 055001-1-5, May 2012.
• マイマイティ マイマイティレャアティ, Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Hiroshi Nohira, Ahmet Parhat, 片岡好則, 西山彰, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Valance number transition and silicate formation of cerrium oxide on Si(100), Vacuum, Vol. 86, No. 10, pp. 1513-1516, Apr. 2012.
• C. Dou, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Resistive switching behavior of a CeO2 based ReRAM cell incorporated with Si buffer layer, Microelectronics Reliability, Vol. 32, No. 4, pp. 688-691, Apr. 2012.
• マイマイティ マイマイティレャアティ, Miyuki Kouda, Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 片岡 好則, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. The effect of remote Coulomb scattering on electron mobility in La2O3 gate stacked MOSFETs, Semiconductor Science and Technology, Vol. 27, No. 4, Mar. 2012.
• Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Covalent Nature in La-Silicate Gate Dielectrics for Oxygen Vacancy Removal2, IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, Vol. 33, No. 3, pp. 423-425, Mar. 2012.
• Takamasa Kawanago, 鈴木 拓也, Yeonghun Lee, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Compensation of oxygen defects in La-silicate gate dielectrics for improving effective mobility in high-k/metal gate MOSFET using oxygen annealing process, Solid-State Electronics, Vol. 68, pp. .68-72, Feb. 2012.
• H Wong, B.L. Yang, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, HIROSHI IWAI. Effects of aluminum doping on lanthanum oxide gate dielectric films, Vacuum, Vol. 86, No. 7, pp. 929-932, Feb. 2012.
• H Wong, B.L. Yang, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, HIROSHI IWAI. Properties of CeOx/La2O3 gate dielectric and its effects on the MOS transistor characteristics, Vacuum, Vol. 86, No. 7, pp. 990-993, Feb. 2012.
• Takamasa Kawanago, Yeonghun Lee, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. EOT of 0.62 nm and High Electron Mobility in La-silicate/Si Structure Based nMOSFETs Achieved by Utilizing Metal-Inserted Poly-Si Stacks and Annealing at High Temperature, IEEE Transactions on Electron Devices, Vol. 59, No. 2, pp. 269-276, Feb. 2012.
• Soshi Sato, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, Kenji Ohmori, KENJI NATORI, Keisaku Yamada, HIROSHI IWAI. Effects of corner angle of trapezoidal and triangular channel cross-sections on electrical performance of silicon nanowire field-effect transistors with semi gate-around structure, Solid-State Electronics, Vol. 65-66, pp. 2-8, Nov. 2011.
• Miyuki Kouda, Takamasa Kawanago, Ahmet Parhat, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Interface and electrical properties of Tm2O3 gate dielectrics for gate oxide scaling in MOS devices, Journal of Vacuum Science and Technology B, Vol. 29, No. 6, pp. 062202-1-4, Nov. 2011.
• ダリューシュザデ, Takashi Kanda, 山下晃司, Kuniyuki KAKUSHIMA, Hiroshi Nohira, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Capacitance-Voltage Characterization of La2O3 Metal-Oxide-Semiconductor Structures on Ino.53Ga.0.47As Substrate with Different Surface Treatment Methods, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 50, No. 10, pp. 10PD03-1-4, Oct. 2011.
• unknown unknown, W. Yasenjiang, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, M. Geni, KENJI NATORI, HIROSHI IWAI. Effects of Scattering Direction of Hot Electrons in the Drain of Ballistic n+–i–n+ Diode, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 50, No. 10, pp. 104301-1-3, Oct. 2011.
• Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Rare Earth Oxide Capping Effect on La2O3 Gate Dielectrics for Equivalent Oxide Thickness Scaling toward 0.5nm, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 50, No. 10, pp. 10PA04-1-4, Oct. 2011.
• Miyuki Kouda, Kenji Ozawa, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, HIROSHI IWAI, ト部友二, 安田哲二. Preparation and Electrical Characterization of CeO2 Films for Gate Dielectrics Application: Comparative Study of Chemical Vapor Deposition and Atomic Layer Deposition Processes, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 50, No. 10, pp. 10PA06-1-4, Oct. 2011.
• Miyuki Kouda, Kenji Ozawa, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, HIROSHI IWAI, ト部友二, 安田哲二. Preparation and Electrical Characterization of CeO2 Films for Gate Dielectrics Application: Comparative Study of Chemical Vapor Deposition and Atomic Layer Deposition Processes, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 50, No. 10, pp. 10PA06-1-4, Oct. 2011.
• 来山大祐, 久保田透, Tomotsune Koyanagi, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. [ 183] D. Kitayama, T. Kubota, T. Koyonagi, K. Kakushima, P. Ahmet, K. Tsutsui, A. Nishiyama, N. Sugii, K. Natori, T. Hattori, H. Iwai, “Silicate Reaction Control at Lanthanum Oxide and Silicon Interface for Equivalent Oxide Thickness of 0.5nm* Adjustment of Amount of Residual Oxygen Atoms in Metal Layer”, Japanese Journal of Applied Physics, Vol.50, No.10, pp.10PA05-1-5, October, 2011, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 50, No. 10, pp. 10PA05-1-5, Oct. 2011.
• ダリューシュザデ, Kuniyuki KAKUSHIMA, Takashi Kanda, Y.C.Lin, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, E.Y.Chang, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Improving electrical characteristics of W/HfO2/Ino.53Gao.47As gate stacks by altering deposition techniques, Microelectronic Engineering, Vol. 88, No. 7, pp. 1109-1112, July 2011.
• 来山大祐, Tomotsune Koyanagi, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Effect of thin Si insertion at metal gate/high-k interface on electrical characteristics of MOS device with La2 O3, Microelectronic Engineering, Vol. 88, No. 7, pp. 1330-1333, July 2011.
• HIROSHI IWAI, KENJI NATORI, Kenji Shiraishi, 岩田 潤一, 押山 淳, Keisaku Yamada, Kenji Ohmori, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat. Si nanowire FET and its modeling, Science China, Vol. 54, No. 5, pp. 1004-1011, May 2011.
• Soshi Sato, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, Kenji Ohmori, KENJI NATORI, Keisaku Yamada, HIROSHI IWAI. Structural advantages of rectangular-like channel cross-section on electrical characteristics of silicon nanowire field-effect transistors, Microelectronics Reliability, Vol. 51, pp. 879-884, May 2011.
• DARYOUSH ZADEH, Soshi Sato, Kuniyuki KAKUSHIMA, A. Srivastava, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, C.K. Sarkar, HIROSHI IWAI. Effects of La2O3 incorporation in HfO2 gated nMOSFETs on low-frequency noise, Microelectronics Reliability, Vol. 51, pp. 746-750, Apr. 2011.
• Soshi Sato, Kenji Ohmori, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KENJI NATORI, Keisaku Yamada, HIROSHI IWAI. Experimental Characterization of Quasi-Fermi Pontential Profile in the Channel of a Silicon Nanowire Field-Effect Transistor with Four-Terminal Geometry, Applied Physics Express, Vol. 4, No. 044201, Apr. 2011.
• Kuniyuki KAKUSHIMA, Koichi Okamoto, Tomotsune Koyanagi, Miyuki Kouda, Kiichi Tachi, Takamasa Kawanago, Jaeyeol Song, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Selection of rare earth silicates for highly scaled gate dielectrics, Microelectronic Engineering, Vol. 87, No. 10, pp. 1868-1871, Oct. 2010.
• Kuniyuki KAKUSHIMA, Kiichi Tachi, M.Adachi, Koichi Okamoto, Soshi Sato, Jaeyeol Song, Takamasa Kawanago, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Interface and electrical properties of La-silicate for direct contact of high-k with silicon, Solid-State Electronics, Vol. 54, pp. 715-719, June 2010.
• M.K. Bera, Jaeyeol Song, Ahmet Parhat, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Yttrium-scandium oxide as high-k gate dielectric for germanium metal-oxide-semiconductor devices, SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, Vol. 25, No. 6, 065008, May 2010.
• M.K.Bera, Jaeyeol Song, Ahmet Parhat, Kuniyuki KAKUSHIMA, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Yttrium-scandium oxide as high-k gate dielectric for germanium metal-oxide-semiconductor devices, SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, Vol. 25, No. 6, 065008, May 2010.
• Kuniyuki KAKUSHIMA, Koichi Okamoto, Tomotsune Koyanagi, Miyuki Kouda, Kiichi Tachi, Takamasa Kawanago, Jaeyeol Song, Ahmet Parhat, Hiroshi Nohira, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. SrO capping effect for La2O3/ Ce-Silicate gate dielectrics, Microelectronics Reliability 50, pp. 356-359, Mar. 2010.
• Yusuke Kobayashi, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, V.Rampogal Rao, KAZUO TSUTSUI, HIROSHI IWAI. Analysis of dependence of short-channel effects in double-gate MOSFETs on channel thickness, Microelectronics Reliability 50, pp. 332-337, Mar. 2010.
• Kuniyuki KAKUSHIMA, M. Nakagawa, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Radio-frequency performance of a sub-100 nm metal-oxide field-effect transistor with high-k gate dielectric, Semiconductor Science and Technology, Vol. 25, No. 4, 045029, 2010.
• Kuniyuki KAKUSHIMA, Tomotsune Koyanagi, Kiichi Tachi, Jaeyeol Song, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Characterization of flatband voltage roll-off and roll-up behavior in La2O3/silicate gate dielectric, Solid-State Electronics, Vol. 54, pp. 720-723, 2010.
• Tomotsune Koyanagi, Kiichi Tachi, Koichi Okamoto, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Electrical Characterization of La2O3-Gated Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor with Mg Incorporation, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 48, 2009.
• Kuniyuki KAKUSHIMA, Kiichi Tachi, Jaeyeol Song, Soshi Sato, Hiroshi Nohira, E. Ikenaga, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Comprehensive x-ray photoelectron spectroscopy study on compositional gradient lanthanum silicate film, JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, [ 145] K. Kakushima, K. Tachi K, J. Song, S. Sato, H. Nohira, E. Ikenaga, P. Ahmet, K.Tsutsui, N. Sugii, T.Hattori, H. Iwai, “Comprehensive x-ray photoelectron spectroscopy study on compositional gradient lanthanum silicate film”, JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, Vol.106, 2009, Vol. 106, 2009.
• Reyes Joel Molina, A. Torres, W. Calleja, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Degradation and breakdown of W-La2O3 stack after annealing in N-2, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, Vol. 47, pp. 7076-7080, 2008.
• Kuniyuki KAKUSHIMA, K. Okamoto, M. Adachi, Kiichi Tachi, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Origin of flat band voltage shift in HfO2 gate dielectric with La2O3 insertion, SOLID-STATE ELECTRONICS, Vol. 52, pp. 1280-1284, 2008.
• Ahmet Parhat, Nakagawa Kentaro, Kuniyuki KAKUSHIMA, Hiroshi Nohira, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Electrical characteristics of MOSFETs with La2O3/Y2O3 gate stack, Microelectronics Reliability 48, Vol. 48, pp. 1769–1771, 2008.
• Ahmet Parhat, 中川健太郎, Kuniyuki KAKUSHIMA, Hiroshi Nohira, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Electrical characteristics of MOSFETs with La2O3/Y2O3 gate stack, Microelectronics Reliability, Vol. 48, pp. 1769–1771, 2008.
• KAZUO TSUTSUI, T Matsuda, M Watanabe, Cheng-Guo Jin, 佐々木雄一朗, Bunji Mizuno, E Ikenaga, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, T Maruizumi, Hiroshi Nohira, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Activated Boron and its Concentration Profiles in Heavily Doped Si Studied by Soft X-ray Photoelectron Spectroscopy and Hall Measurements, Journal of Applied Physics, Vol. 104, 093709, 2008.
• KAZUO TSUTSUI, T. Shiozawa, K. Nagahiro, Y. Ohishi, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, N. Urushihara, M. Suzuki, HIROSHI IWAI. Improvement of Thermal Stability of Ni Silicide on N+-Si by Direct Deposition of Group III Element (Al, B) Thin Film at Ni/Si Interface, Microelectronic Engineering, Vol. 85, pp. 2000-2004, 2008.
• KAZUO TSUTSUI, Ruifei Xiang, K. Nagahiro, T. Shiozawa, Ahmet Parhat, Y. Okuno, M. Matsumoto, M. Kubota, Kuniyuki KAKUSHIMA, HIROSHI IWAI. Analysis of irregular increase in sheet resistance of Ni silicides on transition from NiSi to NiSi2, Microelectronic Engineering, Vol. 85, pp. 315-319, 2008.
• N. Urushihara, S. Iida, N. Sanada, M. Suzuki, D.F. Paul, S. Bryan, Y. Nakajima, T. Hanajiri, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, HIROSHI IWAI. Three dimensional image construction and spectrum extraction from two dimensional elemental mapping in Auger electron spectroscopy, JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, Vol. 26, pp. 668-672, 2008.
• Soshi Sato, Kiichi Tachi, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Thermal-stability improvement of LaON thin film formed using nitrogen radicals, Microelectronic Engineering, Vol. 84, pp. 1894-1897, 2007.
• Jaeyeol Song, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Improvement of interfacial properties with interfacial layer in La2O3 / Ge structure, Microelectronic Engineering, Vol. 84, pp. 2336-2339, 2007.
• Takamasa Kawanago, Kiichi Tachi, Jaeyeol Song, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Electrical characterization of directly deposited La-Sc oxides complex for gate insulator application, Microelectronic Engineering, Vol. 84, pp. 2335-2338, 2007.

国際会議発表 (査読有り)

• Ahmet Parhat, 来山大祐, 金田翼, 鈴木 拓也, Tomotsune Koyanagi, Miyuki Kouda, マイマイティ マイマイティレャアティ, Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. TiN/W/La2O3 /Si High-k Gate Stack for EOT below o.5nm, CSTIC2011, 2011.
• Soshi Sato, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, Kenji Ohmori, KENJI NATORI, Keisaku Yamada, HIROSHI IWAI. Structural Effects of Channel Cross-section on a Gate Capacitance of Silicon Nanowire Field-Effect Transistors, CSTIC2011, 2011.
• Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Rare earth oxide capping effect on La2O3 gate dielectrics toward EOT of 0.5nm, 2011 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices: Science and Technology(IWDTF-11), 2011.
• KAZUO TSUTSUI, Masaoki Tanaka, Norifumi Hoshino, Hiroshi Nohira, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, 佐々木雄一朗, Bunji Mizuno, T. Muro, T. Kinoshita, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Soft X-ray Photoelectron Spectroscopy Study of Activation and Deactivation of Impurities in Shallow Junctions, ICSICT(International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology)2010, Nov. 2010.
• Kenji Ozawa, Miyuki Kouda, Y. Urabe, T. Yasuda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, HIROSHI IWAI. La2O3 insulators prepared by ALD using La(iPrCp)3 source: self-limiting growth conditions and electrical properties, ICSICT(International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology)2010, Nov. 2010.
• Ahmet Parhat, 来山大祐, 金田 翼, 鈴木 拓也, Tomotsune Koyanagi, Miyuki Kouda, M. Mamatrishat, Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, HIROSHI IWAI. Scaling of EOT Beyond 0.5nm, ICSICT(International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology)2010, Nov. 2010.
• unknown unknown, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, M. Geni, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. The Effect of Isotropic and Anisotropic Scattering in Drain Region of Ballistic Channel Diode, ICSICT(International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology)2010, Nov. 2010.
• Naoto Shigemori, Soshi Sato, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Suppression of Lateral Encroachment of Ni Silicide into Si Nanowires using Nitrogen Incorporation, tECS 218th Meeting, Oct. 2010.
• Tomotsune Koyanagi, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Impact of Alkali-Earth-Elements Incorporation on Vfb R0ll-Off Characteristics of La2O3 Gated MOS Device, ECS 218th Meeting, Oct. 2010.
• M.Bera, Ahmet Parhat, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, 西山彰, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Electrical Properties of Yttrium-Titanium Oxide High-k Gate Dielectric on Ge, ECS 218th Meeting, Oct. 2010.
• M. Mamatrishat, Miyuki Kouda, Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, A. Aierken, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, HIROSHI IWAI. Effect of Remote-Surface –Roughness Scattering on Electron Mobility in MOSFETs with High-k Dielectrics, ECS 218th Meeting, Oct. 2010.
• 来山大祐, Tomotsune Koyanagi, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. TiN Capping Effect on High Temperature Annealed RE-Oxide MOS Capacitors for Scaled EOT, ECS 218th Meeting, Oct. 2010.
• Y. Wu, Naoto Shigemori, Soshi Sato, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, 西山彰, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Observation of Tunneling FET operation in MOSFET with NiSi/Si Schottky source/channel interface, ECS 218th Meeting, Oct. 2010.
• Takamasa Kawanago, Yeonghun Lee, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Optimized Oxygen Annealing Process for Vth Tuning of p-MOSFET with High-k/Metal Gate Stacks, ESSDERC 2010, 40th European Solid-State Device Research Conference, Sept. 2010.
• Soshi Sato, Yeonghun Lee, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, Kenji Ohmori, KENJI NATORI, Keisaku Yamada, HIROSHI IWAI. Gate Semi-Around Si Nanowire FET Fabricated by Conventional CMOS Process with Very High Drivability, ESSDERC 2010, 40th European Solid-State Device Research Conference, Sept. 2010.
• Ahmet Parhat, Wataru Hosoda, unknown unknown, Yoshihisa Ohishi, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, HIROSHI IWAI. Er Inserted Ni Silicide Metal Source/Drain for Schottky MOSFETs, IEEE IWJT 2010 Extended Abstracts 2010 International Workshop on Junction Technology, May 2010.
• KAZUO TSUTSUI, Norifumi Hoshino, Yasumasa Nakagawa, Masaoki Tanaka, Hiroshi Nohira, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, 佐々木雄一朗, Bunji Mizuno, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Depth Profiling of Chemical Bonding States of Impurity Atoms and Their Correlation with Electrical Activity in Si Shallow Junctions, IEEE IWJT 2010 Extended Abstracts 2010 International Workshop on Junction Technology, May 2010.
• Ahmet Parhat, Kuniyuki KAKUSHIMA, HIROSHI IWAI. Towards the Ultimate Scaling of MOSFET Gate Dielectrics - Direct Contact of High-k and Silicon, ECS 217th, Apr. 2010.
• Ahmet Parhat, Kuniyuki KAKUSHIMA, HIROSHI IWAI. Towards the Ultimate Scaling of MOSFET Gate Dielectrics - Direct Contact of High-k and Silicon-, ECS 217th, Apr. 2010.
• AbudukelimuAbudureheman, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, HIROSHI IWAI, takeo hattori, KENJI NATORI. Performance of Silicon Ballistic Nanowire MOSFET with Diverse Orientations and Diameters, China Semiconductor Technology International Conference, pp. 1111-1116, Mar. 2010.
• Wataru Hosoda, Kenji Ozawa, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Fabrication of SB-MOSFETs on SOI Substrate Using Ni Silicide Containing Er Interlayer, China Semiconductor Technology International Conference, pp. 1105-1110, Mar. 2010.
• Katuya Matano, Kiyohisa Funamizu, Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Electrical Characteristics of Rare Earth (La, Ce, Pr and Tm) Oxides/Silicates Gate Dielectric, China Semiconductor Technology International Conference, [, pp. 1129-1134, Mar. 2010.
• Hiroto Nakayama, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, E.Ikenaga, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Crystallographic Orientation Dependent Electrical Characteristics of La2O3 MOS Capacitors, ECS 216th Meeting, vol. 25, No. 6, pp. 339-345, Oct. 2009.
• Kiyohisa Funamizu, Y.C. Lin, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, E.Y. Chang, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Electrical Characteristics of HfO2 and La2O3 Gate Dielectrics for In0.53Ga0.47As MOS Structure, ECS 216th Meeting, vol. 25, No. 6, pp. 265-270, Oct. 2009.
• M.K.Bera, Jaeyeol Song, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Electrical Properties of Lanthanum-scandate Gate Dielectric Directly Deposited on Ge, ECS 216th Meeting, vol. 25, No. 6, pp. 67-77, Oct. 2009.
• Tomotsune Koyanagi, Koichi Okamoto, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, AKIRA NISHIYAMA, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Impact of Alkali Earth Elements Incorporation on Electrical Characteristics of La2O3 Gated MOS Device, ECS 216th Meeting, vol. 25, No. 6, pp. 17-22, Oct. 2009.
• Hideaki Arai, Hideyuki Kamimura, Soshi Sato, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Annealing Reaction for Ni Silicidation of Si Nanowire, ECS 216th Meeting, vol. 25, No. 7, pp. 447-454, Oct. 2009.
• Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, HIROSHI IWAI. Overwhelming the o.5 nm EOT Level for CMOS Gate Dielectric, ECS 216th Meeting, vol. 25, No. 7, pp. 171-175, Oct. 2009.
• Soshi Sato, Hideyuki Kamimura, Hideaki Arai, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, Kenji Ohmori, Keisaku Yamada, HIROSHI IWAI. High-Performance Si Nanowire FET with a Semi Gate-Around Structure Suitable for Integration, ESSDERC 2009, 39th European Solid-State Device Research Conference, p. 249, Sept. 2009.
• Kuniyuki KAKUSHIMA, Koichi Okamoto, Tomotsune Koyanagi, Kiichi Tachi, Miyuki Kouda, Takamasa Kawanago, Jaeyeol Song, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Selection of Rare Earth Silicate with SrO Capping for EOT Scaling below o.5 nm, ESSDERC 2009, 39th European Solid-State Device Research Conference, p. 403, Sept. 2009.
• M.Mamatrishat, Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Analysis of Remote Coulomb Scattering Limited Mobility in MOSFETs with CeO2/La2O3 Gate Stacks, ECS 216th Meeting, vol. 25, No. 7, pp. 253-257, Sept. 2009.
• Takamasa Kawanago, Jaeyeol Song, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Experimental Study for High Efffective Mobility with directly deposited HfO2/La2O3 MOSFET, INFOS2009, Microelectronic Engineering, INFOS2009, Vol. 86, pp. 1629-1631, June 2009.
• Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Naoto Umezawa, Ahmet Parhat, Kenji Shiraishi, Toyohiro Chikyow, Keisaku Yamada, HIROSHI IWAI. Charged defects reduction in gate insulator with multivalent materials, 2009 Symposium on VLSI Technology, 2009 Symposium on VLSI Technology Digest of Technical Papers, VLSI Technology, pp. 200-201, June 2009.
• Jaeyeol Song, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Post metallization annealing study in La2O3/Ge MOS structure, INFOS2009, Microelectronic Engineering, INFOS2009, Vol. 86, pp. 1638-1641, June 2009.
• Hideyuki Kamimura, Hideaki Arai, Soshi Sato, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Evaluation of Lateral Ni Diffusion in Si Nanowire Schottky Contact, ISTC /CSTIC2009, ISTC /CSTIC2009, pp. 58, Mar. 2009.
• Hiroki Fujisawa, A Srivastava, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, C.K. Sarkar, HIROSHI IWAI. Electrical Characterization of W/HfO2 MOSFETs with La2O3 Incorporation, ISTC /CSTIC2009, ISTC /CSTIC2009, pp. 53, Mar. 2009.
• J. Molina, K. Tachi, K. Kakushima, P. Ahmet, K. Tsutsui, N. Sugii, T. Hattori, I. Hiroshi. Charge Trapping Characteristics of W-La2O3-nSi Mis Capacitors After Post-Metallization Annealing PMA in N2, 2006 Joint International Meeting of ECS, Oct. 2006.
• Y. Shiino, K. Kakushima, P. Ahmet, K. Tsutsui, N. Sugii, T. Hattori, H. Iwai. La2O3 Gate Dielectric Thin Film with Sc2O3 Buffer Layer for High Temperature Annealing, 2006 Joint International Meeting of ECS, Oct. 2006.
• H. Nohira, T. Matsuda, K. Tachi, Y. Shiino, J. Song, Y. Kuroki, J. Ng, P. Ahmet, K. Kakushima, K. Tsutsui, E. Ikenaga, K. Kobayashi, H. Iwai, T. Hattori. Effect of Deposition Temperature on Thermal Stability of Lanthanum Oxide/Si Interfacial Transition Layer, 2006 Joint International Meeting of ECS, Oct. 2006.
• H. Sauddin, Y. Sasaki, H. Ito, B. Mizuno, P. Ahmet, K. Kakushima, N. Sugii, K. Tsutsui, H. Iwai. Leakage Current Characteristics of Ultra-Shallow Junctions formed by B2H6 Plasma Doping, 2006 Joint International Meeting of ECS, Oct. 2006.

国内会議発表 (査読有り)

• 日野雅文, 吉田哲也, 小瀬村 大亮, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 小椋 厚志, 服部健雄, 岩井洋. SiN応力膜によるSi基板への歪記憶の検討, 春季第55回応用物理学会学術講演会, 春季第55回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 883, Mar. 2008.
• 佐藤創志, 舘喜一, 宋在烈, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋. ラジカル窒化によるLa_2O3ゲート絶縁膜への窒素導入効果 : 堆積時窒化によるEOT増加抑制効果（ゲート絶縁膜、容量膜、機能幕及びメモリ技術）, 電子情報通信学会技術研究報告、SDM、シリコン材料・デバイス, 電子情報通信学会, Vol. 107, No. 85, pp. 71-74, May 2007.
• 小林勇介, 筒井一生, 角嶋邦之, V. Hariharan, V.R. Rao, パールハットアヘメト, 岩井洋. FinFETのSpacer領域形状変化のデバイス特性への影響, 春季第54回応用物理学会学術講演会, 春季第54回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 02, pp. 924, Mar. 2007.

国際会議発表 (査読なし・不明)

• K.Tuokedaerhan, 金田翼, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, Akira Nishiyama, 杉井信之, KAZUO TSUTSUI, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Impact of annealing ambient for La2O3/Si capacitor, G-COE PICE International Symposium and IEEE EDS Minicolloquium on Advanced Hybrid Nano Devices: Prospects by World’s Leading Scientists, 2013.
• unknown unknown, shinichi kano, 竇春萌, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, Akira Nishiyama, Nobuyuki Sugii, KAZUO TSUTSUI, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Resistive Switching Device using Ce-oxide with Ni-silicide Electrodes, Workshop and IEEE EDS Mini-colloquium on Nanometer CMOS Technology (WIMNACT 37), 2013.
• unknown unknown, shinichi kano, 竇春萌, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, Akira Nishiyama, Nobuyuki Sugii, KAZUO TSUTSUI, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Resistive Switching Device using Ce-oxide with Ni-silicide Electrodes, Workshop and IEEE EDS Mini-colloquium on Nanometer CMOS Technology (WIMNACT 37), 2013.
• unknown unknown, shinichi kano, 竇春萌, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, Akira Nishiyama, Nobuyuki Sugii, KAZUO TSUTSUI, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Resistive Switching Device using Ce-oxide with Ni-silicide Electrodes, Workshop and IEEE EDS Mini-colloquium on Nanometer CMOS Technology (WIMNACT 37), 2013.
• unknown unknown, shinichi kano, 竇春萌, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, Akira Nishiyama, Nobuyuki Sugii, KAZUO TSUTSUI, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Resistive Switching Device using Ce-oxide with Ni-silicide Electrodes, Workshop and IEEE EDS Mini-colloquium on Nanometer CMOS Technology (WIMNACT 37), 2013.
• マイマイティ マイマイティレャアティ, 関拓也, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KAZUO TSUTSUI, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Evaluation of oxide traps in La based oxides for direct high-k/Si capacitor, G-COE PICE International Symposium and IEEE EDS Minicolloquium on Advanced Hybrid Nano Devices: Prospects by World’s Leading Scientists, 2013.
• Takamasa Kawanago, Yeonghun Lee, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Metal Inserted Poly-Si wirh High Temperature Annealing for Achieving EOT of 0.62nm in La-silicate MOSFET, 41st European Solid-State Device Research Conference, 2013.
• 来山大祐, 久保田 透, Tomotsune Koyanagi, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Precise Control of Silicate Reaction with La2O3 Gate Dielectrics towards Equivalent Oxide Thickness of 0.5 nm, Taiwan-Japan Workshop on “Nano Devices”, 2011.
• Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Akira Nishiyama, Nobuyuki Sugii, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Electrical Properties of Rare-Earth oxides and La2O3 Stacked Gate Dielectrics, ECS 220th Meeting, ECS Transactions, Vol. 41, No. 7, pp. 119-124, 2011.
• C. Dou, 向井 弘樹, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Resistive switching behaviors of ReRAM having W/CeO2/Si/TiN structure, 219th ECS Meeting, 2011.
• Ahmet Parhat, 来山大祐, 金田翼, 鈴木 拓也, Tomotsune Koyanagi, Miyuki Kouda, マイマイティ マイマイティレャアティ, Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Effects of Metal Layer Insertion on EOT scaling in TiN/Metal/ La2O3 Si High –k Gate Stacks, ,219th ECS Meeting, 2011.
• Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Metal Inserted Poly-Si Stacks with La2O3 Gate Dielectrics for Scaled EOT and VFB Control by Oxygen Incorporation, CSTIC2011, 2011.
• Takashi Kanda, ダリューシュザデ, Y. C. Lin, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, E.Y. Chang, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Annealing Effect on the Electrical Properties of La2O3/InGaAs MOS Capacitors, CSTIC2011, 2011.
• マイマイティ マイマイティレャアティ, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, HIROSHI IWAI. Remote-surface-roughness scattering-limited electron, mobility in ultrathin high-k gate stacked MOSFETs, Taiwan-Japan Workshop on “Nano Devices”, 2011.
• 金田翼, Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Effect of rare earth oxide capping for La-based gate oxides, Taiwan-Japan Workshop on “Nano Devices”, 2011.
• Takamasa Kawanago, 鈴木 拓也, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. An effective process for oxygen defect suppression for La-based oxide gate dielectric, Taiwan-Japan Workshop on “Nano Devices”, 2011.
• 中島一裕, Soshi Sato, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Interface State Density Measurement of Three Dimensional Silicon Structures by Charge Pumping Method, Taiwan-Japan Workshop on “Nano Devices”, 2011.
• 小山将央, Naoto Shigemori, Hideaki Arai, Soshi Sato, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Lateral encroachment of Ni silicide into silicon nanowire, Taiwan-Japan Workshop on “Nano Devices”, 2011.
• Naoto Shigemori, Soshi Sato, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. An effective suppression process for Ni silicide enchroachment into Si nanowire, Taiwan-Japan Workshop on “Nano Devices”, 2011.
• unknown unknown, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KENJI NATORI, HIROSHI IWAI. Influence of Phonon Generation of Hot Electrons in Drain Region on Ballistic Transport, Taiwan-Japan Workshop on “Nano Devices”, 2011.
• Soshi Sato, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, Kenji Ohmori, KENJI NATORI, Keisaku Yamada, HIROSHI IWAI. Influence of the cross-sectional shape for Si nanowire FETs, ,Taiwan-Japan Workshop on “Nano Devices”, 2011.
• ダリューシュザデ, Takashi Kanda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Effects of In0.53Ga0.47As Surface Preparation on MOS Device Electrical Characterization, 2011 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices: Science and Technology(IWDTF-11), 2011.
• Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Preparation and electrical characterization of CeO2 films for gate dielectrics application: comparative study of CVD and ALD processes, 2011 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices: Science and Technology(IWDTF-11), 2011.
• Kuniyuki KAKUSHIMA, Tomotsune Koyanagi, 来山大祐, Miyuki Kouda, Jaeyeol Song, Takamasa Kawanago, M. Mamatrishat, Kiichi Tachi, M. K. Bera, Ahmet Parhat, Hiroshi Nohira, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, Keisaku Yamada, HIROSHI IWAI. Direct Contact of High-k/Si Gate Stack for EOT below 0.7 nm using LaCe-silicate Layer with Vfb controllability, 2010 Symposium on VLSI Technology, June 2010.

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 小澤健児, 幸田みゆき, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 岩井洋, ト部友二, 安田哲二. La2O3 のALD成長のための原料選択：シクロペンタジエニル錯体とアミディネート錯体の比較, ゲートスタック研究会－材料･プロセス・評価の物理－（第16回研究会）, 2011.
• 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 大毛利健治, 名取研二, 山田啓作, 岩井洋. Effects of corners of channel cross-section on electrical performance of silicon nanowire field-effect transistors, ゲートスタック研究会－材料･プロセス・評価の物理－（第16回研究会）, 2011.
• 細田倫央, 李映勲, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 岩井洋. 矩形断面SiナノワイヤMOSFETにおけるフォノン散乱に制限された移動度のサイズ依存性, 第72回応用物理学会学術講演会, 2011.
• 叶真一, MokhammadSholihul Hadi, 竇春萌, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. 希土類酸化物(CeOX)を用いたMIM構造の抵抗スイッチング特性, 第72回応用物理学会学術講演会, 2011.
• LiWei, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. コンダクタンス法による立体チャネルを有するMOSキャパシタの界面準位密度の評価, 第72回応用物理学会学術講演会, 2011.
• 吉原 亮, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 中塚理, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. Ni/Si積層から形成されるNiシリサイドのショットキーダイオードの電流特性, 第72回応用物理学会学術講演会, 2011.
• 田村雄太, 角嶋邦之, 中塚 理, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. NiとSiの積層薄膜によって形成したシリサイドのシート抵抗に対する熱処理温度の影響, 第72回応用物理学会学術講演会, 2011.
• 金原潤, 宮田陽平, 秋田洸平, 筒井一生, 野平博司, 室隆桂之, 木下豊彦, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 服部健雄, 岩井洋. Si中に極浅ドープされたAsの軟X線光電子分光による化学結合状態の検出とその深さ方向分布, 第72回応用物理学会学術講演会, 2011.
• 宮田陽平, 金原潤, 難波覚, 三角元力, 筒井一生, 野平博司, 室隆桂之, 木下豊彦, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 服部健雄, 岩井洋. 軟X線光電子分光法を用いたFin構造中の不純物化学結合状態分析, 第72回応用物理学会学術講演会, 2011.
• 松本一輝, 小山将央, 呉研, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. 酸化膜被覆型SiナノワイヤおよびSi Fin構造におけるNiシリサイド成長機構の検討, 第72回応用物理学会学術講演会, 2011.
• 鈴木佑哉, 細井隆司, ダリューシュザデ, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. high-k/In0.53Ga0.47As MOS キャパシタの容量-電圧特性の解析, 第72回応用物理学会学術講演会, 2011.
• 常石佳奈, 来山大祐, 幸田みゆき, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. W/Tm2O３/n-Si構造キャパシタの電気特性におけるTm2O３膜厚依存性, 第72回応用物理学会学術講演会, 2011.
• Kamale Tuokedaerhan, 金田翼, マイマイティ マイマイティレャアティ, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. La2O3/n-Si 構造に対するPost Deposition Annealの電気特性への影響, 第72回応用物理学会学術講演会, 2011.
• 鈴木 拓也, 幸田みゆき, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 岩井洋, 安田哲二. ALDによるMgO添加La2O3ゲート絶縁膜の形成及び電気特性評価, 第72回応用物理学会学術講演会, 2011.
• 関 拓也, 来山大祐, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. High-k/Si 直接接合構造における界面準位の定量評価について, 第72回応用物理学会学術講演会, 2011.
• 田中 祐樹, 川那子高暢, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. シリコン基板上に堆積したナノカーボン薄膜への高温短時間アニーリングの影響, 第72回応用物理学会学術講演会, 2011.
• 小山 将央, 茂森直登, 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 西山彰, 筒井一生, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. 窒素導入によるSiナノワイヤ内へのNiシリサイド侵入抑制機構の検討, 第７１回応用物理学会学術講演会, Sept. 2010.
• マイマイティ マイマイティレャアティ, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. High-kゲートスタックMOSFETにおける電子移動度のリモート界面ラフネス散乱依存性, 第７１回応用物理学会学術講演会, Sept. 2010.
• 竇 春萌, マイマイティ マイマイティレャアティ, ダリューシュザデ, 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. 希土類(Ce,Eu)酸化物MIM構造の抵抗スイッチング特性, 第７１回応用物理学会学術講演会, Sept. 2010.
• 呉研, 茂森直登, 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. トンネルFET動作に向けたNiシリサイド/Si接触におけるトンネル電流の観測, 第７１回応用物理学会学術講演会, Sept. 2010.
• 鈴木 拓也, 川那子高暢, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. 希釈酸素雰囲気熱処理を用いたLaシリケート/Si MOS構造のVFB/Vthシフトの低EOTへの適用, 第７１回応用物理学会学術講演会, Sept. 2010.
• 細井隆司, 神田高志, ダリューシュザデ, Yueh Chin Lin, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, Edward Yi Chang, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. 絶縁膜材料を用いたIn0.53Ga0.47As MOSキャパシタの電気特性, 第７１回応用物理学会学術講演会, Sept. 2010.
• 金田翼, 幸田みゆき, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. Tm-oxide/La2O3構造ゲート絶縁膜の界面特性評価, 第７１回応用物理学会学術講演会, Sept. 2010.
• 小澤健児, 幸田みゆき, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 岩井洋, ト部友二, 安田哲二. La(iPrCp)3 を原料としたLa2O3のALD: Self-limiting 成長条件の明確化, 第７１回応用物理学会学術講演会, Sept. 2010.
• 幸田みゆき, 小澤健児, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 岩井洋, ト部 友二, 安田 哲二. CVD法によるCeOx絶縁膜の作製と特性評価, 第７１回応用物理学会学術講演会, Sept. 2010.
• 来山大祐, 小柳友常, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. 高温短時間熱処理を用いた希土類MOSキャパシタへのTiNキャップ効果, 第７１回応用物理学会学術講演会, Sept. 2010.
• 田中正興, 金原潤, 宮田陽平, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 室隆桂之, 木下豊彦, 野平博司, 筒井一生, 室田 淳一, 服部健雄, 岩井洋. Siエピタキシャル層にドープされたボロンの軟X線光電子分光, 第７１回応用物理学会学術講演会, Sept. 2010.
• 中島 一裕, 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. チャージポンピング法による立体Si構造の界面準位密度の評価, 第７１回応用物理学会学術講演会, Sept. 2010.
• 角嶋邦之, 小柳友常, 来山大祐, 幸田みゆき, 宋在烈, 佐藤創志, 川那子高暢, M. マイマイティ, 舘喜一, M.K. Bera, パールハットアヘメト, 野平博司, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 山田啓作, 岩井洋. LaCe シリケート膜を用いたEOT<0.7nm の直接接合 high-k/Si の実現とフラットバンド電圧制御, 応用物理学会分科会 シリコンテクノロジー, ，野平博司，筒井一生，西山彰，杉井信之，名取研二，服部健雄，山田啓作，岩井洋“LaCe シリケート膜を用いたEOT<0.7nm の直接接合 high-k/Si の実現とフラットバンド電圧制御” 応用物理学会分科会 シリコンテクノロジー No.127 pp.4-8（2010年7月22日 ）, No. 127, pp. 4-8, July 2010.
• 来山大祐, 小柳友常, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. EOT=0.5nmに向けた希土類MOSデバイスの高温短時間熱処理の検討, 電子情報通信学会技術研究報告 pp.43-48, June 2010.
• 茂森直登, 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. SiナノワイヤへのNiシリサイド形成と過剰な侵入とその抑制に関する検討, 電子情報通信学会技術研究報告 pp.17-22, June 2010.
• 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 大毛利健二, 名取研二, 岩井洋, 山田啓作. キャリア移動度評価によるシリコンナノワイヤトランジスタの電気特性解析, 電子情報通信学会技術研究報告 pp.11-16, June 2010.
• 佐藤創志, 新井英朗, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 大毛利 健治, 名取研二, 岩井洋, 山田啓作. Siナノワイヤトランジスタの電気特性の断面形状依存症, 第57回応用物理学関係連合講演会, 第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, pp. 13-270, Apr. 2010.
• 田中正興, 星野憲文, 筒井一生, 野平博司, 室隆桂之, 加藤有香子, 木下豊彦, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 服部健雄, 岩井洋. 光電子分光により検出したSi中のAsおよびPの化学結合状態の評価, 第57回応用物理学関係連合講演会, 第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, pp. 13-191, Mar. 2010.
• 茂森直登, 新井英朗, 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 西山彰, 筒井一生, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. 酸化膜中のSiナノワイヤへのNi拡散の制御, 第57回応用物理学関係連合講演会, 第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, pp. 13-269, Mar. 2010.
• 川那子高暢, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. 酸素添加がWゲートMOSデバイスの電気特性に与える影響, 第57回応用物理学関係連合講演会, 第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, pp. 13-151, Mar. 2010.
• ダリューシュ ザデ, 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. 界面にLa2O3 絶縁膜層を挿入したHf系high-kゲートMOSFETの評価, 第57回応用物理学関係連合講演会, 第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, pp. 13-095, Mar. 2010.
• 来山 大祐, 小柳友常, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. 来山大祐，小柳友常，角嶋邦之，パールハット アヘメト，筒井一生，西山彰，杉井信之，名取研二，服部健雄，岩井洋“EOT=0.5nm に向けたTaSi2/La2O3/CeOxゲートスタック構造の検討, 第57回応用物理学関係連合講演会, 第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, pp. 13-094, Mar. 2010.
• 小澤健児, 幸田みゆき, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. La2O3 MOSFETへのCeOxキャップによる電気特性の改善, 第57回応用物理学関係連合講演会, 第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, pp. 13-096, Mar. 2010.
• 幸田みゆき, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. 希土類酸化物をキャップすることによるMOSFETの電気特性の改善, 第57回応用物理学関係連合講演会, 第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, pp. 13-097, Mar. 2010.
• 小柳友常, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. La2O3 MOSデバイスへのアルカリ土類元素キャップによる電気特性の変化, 第57回応用物理学関係連合講演会, 第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, pp. 13-098, Mar. 2010.
• 神田高志, 船水清永, Yueh Chin Lin, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, Edward Yi Chang, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. HfO2/ La2O3/ In0.53 Ga0.47As構造の界面特性の変化, 第57回応用物理学関係連合講演会, 第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, pp. 13-141, Mar. 2010.
• 小山将央, 茂森直登, 新井英朗, 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. Lateral encroachment of Ni silicide into Si nanowire, 複合創造領域シンポジウム, 2010.
• 茂森直登, 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 西山彰, 筒井一生, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. Suppression of Lateral Encroachment of Ni Silicide into Si Nanowires using Nitrogen Incorporation, 複合創造領域シンポジウム, 2010.
• AbudukelimuAbudureheman, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. The Effect of Scattering in Drain Region of Ballistic Channel Diode, 複合創造領域シンポジウム, 2010.
• 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 大毛利健治, 山田啓作, 名取研二, 岩井洋. Influence of the cross-sectional shape for Si nanowire FETs, 複合創造領域シンポジウム, 2010.
• 中島一裕, 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. Interface state density of 3-D structured Si using charge pumping method, 複合創造領域シンポジウム, 2010.
• 小柳友常, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. Flatband Voltage Shift of La-based Gate Oxides with Alkali-earth-elements Incorporation, 複合創造領域シンポジウム, 2010.
• 金田翼, 幸田みゆき, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. Effect of Rare Earth Oxide Capping for La-based Gate Oxides, 複合創造領域シンポジウム, 2010.
• マイマイティ マイマイティレャアティ, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 岩井洋. Remote Coulomb and roughness scatterings in gate oxide scaling, 複合創造領域シンポジウム, 2010.
• 呉研, 茂森直登, 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. Observation of Tunneling FET operation in MOSFET with NiSi/Si Schottky source/channel interface, 複合創造領域シンポジウム, 2010.
• 竇春萌, 向井弘樹, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. Feasibility study of Ce oxide for resistive RAM application, 複合創造領域シンポジウム, 2010.
• ダリューシュザデ, 神田高志, 細井隆司, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. Towards High Performance III-V MOSFET, A Study on high-k Gate Stacks on In0.53Ga0.47As, 複合創造領域シンポジウム, 2010.
• 小澤健児, 幸田みゆき, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 岩井洋, ト部友二, 安田哲二. Self-limited growth of La oxides with ALD, 複合創造領域シンポジウム, 2010.
• 幸田みゆき, 小澤健児, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 岩井洋, ト部友二, 安田哲二. Electrical characterization of CVD deposited Ce oxides, 複合創造領域シンポジウム, 2010.
• 久保田透, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. Spectroscopic analysis of interface state density in high-k/Si structure, 複合創造領域シンポジウム, 2010.
• 来山大祐, 小柳友常, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. Process Optimization of Rare-Earth Oxides Gated MOS Devices for Future EOT Scaling, 複合創造領域シンポジウム, 2010.
• 川那子高暢, 鈴木 拓也, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋. An Effective Process for Oxygen Defects Suppression for La-based Oxide Gate Dielectric, 複合創造領域シンポジウム, 2010.
• Jaeyeol Song, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Effect of Ultrathin Si Passivation Layer for La2O3/Ge MOS structure, G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices, Oct. 2009.
• Wataru Hosoda, Kenji Ozawa, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. A Study of Schottky Barrier Height Modulation of NiSi by Interlayer Insertion and Its Application to SOI SB-MOSFETs, G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices, Oct. 2009.
• Kiyohisa Funamizu, Takashi Kanda, Y.C.Lin, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, E.Y.Chang, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Electrical Characteristics of HfO2 and La2O3 Gate Dielectrics for In0.53Ga0.47As MOS Structure, G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices, Oct. 2009.
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• Miyuki Kouda, Naoto Umezawa, Kuniyuki KAKUSHIMA, Hiroshi Nohira, Ahmet Parhat, Kenji Shiraishi, 知京豊裕, Keisaku Yamada, HIROSHI IWAI. Charged defects reduction in gate insulator with multivalent materials, G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices, Oct. 2009.
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• M.Mamatrishat, Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Study on Remote Coulomb Scattering Limited Mobility in MOSFETs with CeO2/ La2O3 Gate Stacks, G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices, Oct. 2009.
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• Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Experimental Investigation of VFB shift and Effective Mobility in La2O3 MOS Devices, G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices, Oct. 2009.
• M.K. Bera, Jaeyeol Song, Ahmet Parhat, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Rare-earth based mixed oxide as high-k gate dielectrics for Ge MOSFET, G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices, Oct. 2009.
• Katuya Matano, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, Nobuyuki Sugii, KAZUO TSUTSUI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Threshold Voltage Control in p-MOSFET with High-k Gate dielectric, G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices, Oct. 2009.
• Tomotsune Koyanagi, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI. Influence of Alkali Earth Elements Capping on Electrical Characteristics of La2O3 Gated MOS Device, G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices, Oct. 2009.
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• 中山寛人, 日野雅文, 永田晃基, 小瀬村大亮, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 小椋厚志, 服部健雄, 岩井洋. As注入とSiN応力膜によるpoly-Siへの歪記憶の検討, 第56回応用物理学関係連合講演会, 第56回応用物理学関係連合講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 869, Mar. 2009.
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• 星野憲文, 中川恭成, 野平博司, 室 隆桂之, 加藤 有香子, 甲斐隆行, 金成国, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 水野文二, 木下 豊彦, 筒井一生, 服部健雄, 岩井洋. 光電子分光によるSi中Asの化学結合状態評価, 第56回応用物理学関係連合講演会, 第56回応用物理学関係連合講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 883, Mar. 2009.
• 又野克哉, 川那子高暢, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋. Ge層挿入によるLa2O3-MOSキャパシタのVFB制御, 第56回応用物理学関係連合講演会, 第56回応用物理学関係連合講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 854, Mar. 2009.
• 横田知之, 酒井一憲, パールハットアヘメト, 筒井一生, 岩井洋. 反復剥離法による3次元Fin構造中ドーピングプロファイル測定の提案, 第56回応用物理学関係連合講演会, 第56回応用物理学関係連合講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 873, Mar. 2009.
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• 細田亘, 野口浩平, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋. 異種金属界面挿入によるNiシリサイドのショットキー障壁変調とSB-MOSFETへの応用, 第56回応用物理学関係連合講演会, 第56回応用物理学会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 868, Mar. 2009.
• 宋在烈, 舘喜一, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋. 極薄Si界面層を挿入したLa2O3/Ge MIS構造における界面準位密度低減に関する検討, 第56回応用物理学関係連合講演会, 第56回応用物理学関係連合講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 840, Mar. 2009.
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• 岩井洋, 山田啓作, 大毛利健二, 筒井一生, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 佐藤創志, 上村英之, 新井英朗. トップダウンSiナノワイヤFETの作製法とその電気的特性のサーベイ, 第56回応用物理学関係連合講演会, 第56回応用物理学関係連合講演会予稿集, 応用物理学会, No. 0, pp. 147, Mar. 2009.
• 幸田みゆき, 梅澤直人, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 白石賢二, 知京豊裕, 山田啓作, 岩井洋, 服部健雄. 低電子揺動Ce酸化物を利用したhigh－k膜中の固定電荷の抑制, 応用物理学会 薄膜･表面物理分科会/シリコンテクノロジー分科会共催特別研究会 ゲートスタック研究会－材料･プロセス・評価の物理－（第14回研究会）, ゲートスタック研究会－材料･プロセス・評価の物理－（第14回研究会）, ゲートスタック研究会, pp. 21, Jan. 2009.
• 中川恭成, 野平博司, 酒井一憲, 横田 知之, 甲斐 隆行, 金成国, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 水野文二, 服部健雄, 筒井一生, 岩井洋. 光電子分光によるSi中Asの活性化状態の深さ方向分布評価, 秋季第69回応用物理学会学術講演会, 応用物理学会, 応用物理学会, No. 2, pp. 738, Sept. 2008.
• 船水清永, 幸田みゆき, 舘喜一, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋. CeOX/La2O3積層ゲート絶縁膜構造の膜特性評価, 秋季第69回応用物理学会学術講演会, 秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 703, Sept. 2008.
• 川那子高暢, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋. La2O3/Si直接接合構造における界面特性の評価, 秋季第69回応用物理学会学術講演会, 秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 702, Sept. 2008.
• 小林勇介, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, ラオ ラムゴパル, 筒井一生, 岩井洋. FinFETの閾値変動における短チャネル効果による影響の切り分け, 秋季第69回応用物理学会学術講演会, 秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 753, Sept. 2008.
• 又野克哉, 野口 浩平, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋. Hf層界面挿入によるNiシリサイドのショットキー障壁変調技術, 秋季第69回応用物理学会学術講演会, 秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 751, Sept. 2008.
• 細田亘, 野口浩平, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋. Er層界面挿入によるNiシリサイドのショットキー障壁変調とSB-MOSFETへの応用, 秋季第69回応用物理学会学術講演会, 秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 751, Sept. 2008.
• 酒井一憲, 中川恭成, 横田知之, 金成国, 岡下勝己, 佐々木雄一朗, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 水野文二, 服部健雄, 筒井一生, 岩井洋. 3次元Fin構造中不純物プロファイリングのための反復犠牲酸化エッチング, 秋季第69回応用物理学会学術講演会, 秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 749, Sept. 2008.
• 中山寛人, 日野雅文, 服部健雄, 杉井信之, 筒井一生, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 小椋厚志, 永田 晃基, 吉田 哲也, 小瀬村大亮, 岩井洋. Ar注入とSiN応力膜によるパターン付Si基板への歪記憶技術の検討, 秋季第69回応用物理学会学術講演会, 応用物理学会, 応用物理学会, No. 2, pp. 743, Sept. 2008.
• 佐藤創志, 上村英之, 新井英朗, 大毛利健二, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 服部健雄, 杉井信之, 山田啓作, 岩井洋. Si Finのアスペクト比最適化により作製した円形Siナノワイヤの形状に関する研究, 秋季第69回応用物理学会学術講演会, 秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 735, Sept. 2008.
• 新井英朗, 上村英之, 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 服部健雄, 杉井信之, 岩井洋. 熱酸化によるSi ナノワイヤの作製とその電気特性, 秋季第69回応用物理学会学術講演会, 応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 768, Sept. 2008.
• 小柳友常, 岡本晃一, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 杉井信之, 筒井一生, 服部健雄, 岩井洋. La203系MOSFETへのMg挿入による電気特性の変化, 秋季第69回応用物理学会学術講演会, 秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 702, Sept. 2008.
• 上村英之, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 大毛利 健二, 服部健雄, 岩井洋. 熱酸化によるSiナノワイヤ形状の酸化条件依存性, 春季第55回応用物理学会学術講演会, 春季第55回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 913, Mar. 2008.
• 小林 勇介, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, V.R. Rao, 岩井洋. FinFETにおけるショートチャンネル効果のフィン幅依存症, 春季第55回応用物理学会学術講演会, 春季第55回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 925, Mar. 2008.
• 酒井一憲, 渡邉将光, 中川恭成, 金 成国, 岡下 勝己, 佐々木雄一朗, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 水野 文二, 服部健雄, 筒井一生, 岩井洋. 極浅接合プロファイリングのための反復犠牲酸化エッチング技術, 春季第55回応用物理学会学術講演会, 春季第55回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 900, Mar. 2008.
• 幸田みゆき, 舘喜一, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋. CeO2/La2O3積層ゲート絶縁膜の電気特性評価, 春季第55回応用物理学会学術講演会, 春季第55回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 850, Mar. 2008.
• 野口浩平, 大石善久, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋. Er層界面挿入によるNiシリサイドのショットキー障壁変調技術, 春季第55回応用物理学会学術講演会, 春季第55回応用物理学会学術講演会予稿集, 応用物理学会, No. 2, pp. 879, Mar. 2008.
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